TFT液晶面板,Cu-Mn合金工藝技術(shù)

日本的東北大學(xué)小池淳一教授面向大尺寸液晶面板，開(kāi)發(fā)出了柵極和源漏極均采用Cu布線(xiàn)的Cu-Mn合金技術(shù)。將Cu-Mn合金應(yīng)用于柵極的基本技術(shù)已于2007年5月發(fā)布，而此次則開(kāi)發(fā)出了能夠進(jìn)一步應(yīng)用于源極和漏極的生產(chǎn)工藝。

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