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準分子

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準分子光刻技術與極紫外光刻技術

光刻是平面型晶體管和集成電路生產中的一個主要工藝。是對半導體晶片表面的掩蔽物(如二氧化硅)進行開孔，以便進行雜質的定域擴散的一種加工技術。

基礎知識科普站
2021-12-01

準分子極紫外光刻光抗蝕劑

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