近日,由清華大學(xué)教授帶隊(duì)自主研發(fā)的首臺(tái)12英寸超精密晶圓減薄機(jī)正式下線,目前已經(jīng)發(fā)往國(guó)內(nèi)某集成電路龍頭企業(yè)。
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