梁德豐,錢省三,梁靜(上海理工大學(xué)工業(yè)工程研究所/微電子發(fā)展中心,上海 200093)摘要:由于半導(dǎo)體制造工藝過程的復(fù)雜性,一般很難建立其制造模型,不能對(duì)工藝過程狀態(tài)有效地監(jiān)控,所以迫切需要先進(jìn)的半導(dǎo)體過程控




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