基于MEMS工藝的微型壓電振動(dòng)傳感器：低頻響應(yīng)與抗干擾能力提升策略

工業(yè)設(shè)備健康監(jiān)測(cè)與消費(fèi)電子交互升級(jí)，微型壓電振動(dòng)傳感器正以毫米級(jí)身軀承載著關(guān)鍵使命。這類基于MEMS工藝的器件通過捕捉0.1Hz-10Hz頻段的微弱振動(dòng)信號(hào)，為橋梁結(jié)構(gòu)安全評(píng)估、電機(jī)故障預(yù)警等場(chǎng)景提供核心數(shù)據(jù)支撐。然而，傳統(tǒng)傳感器在低頻響應(yīng)靈敏度與環(huán)境適應(yīng)性方面存在顯著短板，如何突破技術(shù)瓶頸成為行業(yè)焦點(diǎn)。