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MEMS傳感器可以分成哪些應(yīng)用類型？
MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。它具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術(shù)附加值高，適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化等特點(diǎn)。MEMS傳感器技術(shù)是指用微電子微機(jī)械加工出來(lái)的、用敏感元件如電容、
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