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批量化制備

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石墨烯單晶晶圓研究取得新進展，批量化制備出現新思路

近日，中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所石墨烯單晶晶圓研究取得新進展。信息功能材料國家重點實驗室研究員謝曉明領導的石墨烯研究團隊首次在較低溫度（750℃）條件下采用化學氣相沉積外延成功制備6英寸無褶

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2019-06-06

中科院晶圓石墨烯批量化制備