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高速晶圓倒片機(jī)自研成功，可滿足14nm工藝需求
近日，北京京儀自動化裝備技術(shù)有限公司自主研發(fā)出了高速集成電路制造晶圓倒片機(jī)，每小時(shí)300片以上的倒片速度指標(biāo)達(dá)國際先進(jìn)水平，可用于14納米集成電路制造，打破了國際壟斷。
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