8月21日消息,據(jù)臺灣媒體報道,半導體行業(yè)光刻系統(tǒng)供應商ASML(阿斯麥)的EUV(極紫外光刻)技術培訓中心昨日在臺灣臺南科學園區(qū)開張,就近服務第一大客戶臺積電。 ASML ASML的EUV技術培訓
盡管所花的時間與成本幾乎比所有人預期得要多,半導體產業(yè)終于還是快要盼到極紫外光(extreme ultraviolet,EUV)微影技術的大量生產──在近日于美國舊金山舉行的2017年度Semicon West半導體設備展,微影設備大廠A
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