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濕法清洗

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  • 泛林集團的濕法清洗優(yōu)化幫助芯片制造商提升設(shè)備性能

    “濕法清洗”一詞源自行業(yè)早期的預(yù)防性維護方式，即拆卸反應(yīng)腔室并將石英部件浸入酸水沖洗，之后再晾干并重新組裝。如今對于需要高精度維護的設(shè)備而言，其中唯一涉及“濕”的常用物質(zhì)便是去離子水濕潤過的無絨布，不過“濕法清洗”這個傳統(tǒng)稱謂卻被沿用至今。所以，維護方式被稱為“濕法”，但實際上卻是“干法”。