電子特氣廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、微電子和相關(guān)的太陽能電池等高科技產(chǎn)業(yè)。在半導(dǎo)體工藝中,從芯片生長到最后器件的封裝,幾乎每一步、每一個環(huán)節(jié)都離不開電子特氣,因此電子氣體被稱為半導(dǎo)體材料的“糧食”。
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