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納米級(jí)表面粗糙度測量：白光干涉儀的環(huán)境振動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)
白光干涉儀通過分析干涉條紋的變化來測量表面高度信息。當(dāng)存在環(huán)境振動(dòng)時(shí)，干涉儀的光學(xué)元件和被測樣品會(huì)發(fā)生微小位移，使得干涉條紋的相位和強(qiáng)度發(fā)生變化。這種變化會(huì)干擾正常的測量信號(hào)，導(dǎo)致測量結(jié)果出現(xiàn)偏差。特別是在納米級(jí)測量中，微小的振動(dòng)都可能引起較大的測量誤差。
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