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Entegris新一代光罩盒通過ASML認(rèn)證 可用于EUV技術(shù)生產(chǎn)制程上
微電子產(chǎn)業(yè)特種化學(xué)品和材料解決方案廠商英特格 (Entegris) 宣布，新一代的光罩盒已獲得半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備商艾司摩爾 (ASML) 的認(rèn)證，可用于極紫外光 (EUV) 微影技術(shù)的芯片大量生產(chǎn)上，用以保護(hù)在制造過程中光罩的完整。
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