MEMS陀螺儀的性能參數(shù)及如何進(jìn)行正確的使用？

基于MEMS的陀螺儀，是利用科里利奧力，對(duì)MEMS內(nèi)部施加一個(gè)X方向的激勵(lì)信號(hào)，當(dāng)質(zhì)量塊相對(duì)于震蕩的系統(tǒng)產(chǎn)生Z軸方向的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于Y方向的科里利奧力，質(zhì)量塊就產(chǎn)生Y方向的運(yùn)動(dòng)，通過計(jì)算電容的變化，就可以計(jì)算出對(duì)應(yīng)的角加速度值。