EUV光刻機是一項技術奇跡。 一臺發(fā)生器每秒噴射出5萬個微小的熔錫液滴,高功率激光對每個液滴進行兩次爆破,第一次可以使錫成形,第二次是使錫蒸發(fā)成等離子體。 等離子體發(fā)出極紫外光輻射,這種輻射聚集成光束
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