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靜電傳感器

關(guān)注人關(guān)注

我要報(bào)錯(cuò)

日本產(chǎn)綜研利用MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)靜電傳感器的小型化

日本產(chǎn)業(yè)技術(shù)綜合研究所開發(fā)出了基于MEMS（微電子機(jī)械系統(tǒng)）技術(shù)的靜電傳感器，并在“日本Nano Micro Business展”（東京有明國際會(huì)展中心，7月5日閉幕）上進(jìn)行了展示。試制系統(tǒng) （點(diǎn)擊放大）

模擬
2013-07-08

靜電傳感器 MEMS技術(shù) BSP 電容

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