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基于單片機(jī)的靜電探針自動測量系統(tǒng)
開展靜電探針自動測量技術(shù)的研究開發(fā)工作，對提高等離子體應(yīng)用研究工作的效率具有一定的促進(jìn)作用。本文介紹的自動測量系統(tǒng)是以單片機(jī)為核心，采用A/D和D/A技術(shù)，能夠快速、準(zhǔn)確地給出靜電探針I(yè)-V特性曲線。
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