優(yōu)化高精度傾斜角度傳感提高性能

在?第一部分 中本文綜述了三軸高精度MEMS加速度計(jì)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)。在?第二部分里面 ,我們回顧了如何獲得一個(gè)良好的起始數(shù)據(jù)集,以建立基線性能,并驗(yàn)證在隨后的數(shù)據(jù)分析中所期望的噪聲水平。在本系列的最后一部分中,我們探討了其他影響穩(wěn)定性的因素,并提出了改進(jìn)三軸高精度MEMS加速度計(jì)整體性能的機(jī)械系統(tǒng)設(shè)計(jì)建議。