該路線圖包括突破性的晶體管設計,從將持續(xù)到3納米的標準FinFET晶體管,到2納米和A7(7埃)的新的門控全方位(GAA)納米片和叉片設計,然后是A5和A2的CFET和原子通道等突破性設計。需要提醒的是,10個埃等于1納米,因此Imec的路線圖包括了次 "1納米 "工藝節(jié)點。
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