集成電路生產(chǎn)制造需要經(jīng)過上百道主要工序。其技術范圍覆蓋了從微觀到宏觀的全尺度,地球上諸多先進的技術在集成電路行業(yè)中得到了淋漓盡致的體現(xiàn)。由于集成電路制造的精密性以及對成本和利潤的追求,為了保證芯片的質量,需要在整個生產(chǎn)過程中對生產(chǎn)過程及時地進行監(jiān)測,為此,幾乎每一步主要工藝完成后,都要對芯片進行相關的工藝參數(shù)監(jiān)測,以保證產(chǎn)品質量的可控性。
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