0 引 言 RF MEMS開關在隔離度、插入損耗、功耗以及線性度等方面,具有比FET或pin二極管傳統(tǒng)微波固態(tài)開關無法比擬的優(yōu)勢,從而獲得了廣泛的關注,并顯示出在微波應用領域
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