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euv系統(tǒng)

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最先進(jìn)的EUV系統(tǒng)將于本月底出貨

全球半導(dǎo)體微影技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)廠商艾司摩爾(ASML)20日宣布，在臺(tái)積電、英特爾及三星三大晶圓廠力挺下，最先進(jìn)的極紫外光(EUV)已連續(xù)四周平均妥善率逾八成，本季底前將完成三臺(tái)最新的EUV系統(tǒng)出貨。 EUV堪稱半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展以

顯示光電
2016-04-22

asml euv系統(tǒng) 微影系統(tǒng)