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佳能發(fā)布i線光刻機FPA-5520iV HR Option
佳能公司宣布將于2018年12月下旬發(fā)布針對半導(dǎo)體曝光設(shè)備后道工序的i線光刻機※1「FPA-5520iV」系列的高分辨率新產(chǎn)品“FPA-5520iV HR Option”，強化FOWLP※2功能，并進一步提升生產(chǎn)效率。
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