壓電陶瓷致動(dòng)器是近年發(fā)展起來的新型微位移器件,具有體積小、推力大、精度及位移分辨率高、頻率響應(yīng)快等特點(diǎn)。它在使用中無噪聲、不發(fā)熱,是理想的微位移器,已在航空航天、精密測(cè)量、機(jī)器人及精密加工
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