微米級小芯片的檢測一直是研發(fā)領(lǐng)域檢測的難點,常見的熱像儀可有效檢測的最小目標通常為0.2mm以上,對于微米級別的芯片晶格和元器件來說,需要在像素和光學系統(tǒng)上均達到一定性能要求才可以準確檢測。
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