摘要

MEMS加速度計在機械應(yīng)力頻繁且劇烈的環(huán)境中應(yīng)用日益廣泛。本文探討了抗沖擊能力與耐振動性之間的關(guān)鍵差異，這兩項核心指標(biāo)決定了傳感器在惡劣條件下的可靠性。文中概述了提升傳感器穩(wěn)健性的相關(guān)測試標(biāo)準(zhǔn)、失效機制及設(shè)計策略，并以ADI公司的加速度計與傳感器為實例，闡明了機械余量和阻尼特性如何影響傳感器在振動環(huán)境下的性能，并介紹了沖擊測試如何評估系統(tǒng)級抗損毀能力。理解兩項重要指標(biāo)間的差異，是確保所選傳感器兼顧性能要求與可靠性標(biāo)準(zhǔn)的重要前提。

引言

基于MEMS技術(shù)的加速度計，如今在惡劣環(huán)境中的應(yīng)用愈發(fā)廣泛；這類環(huán)境不僅存在機械應(yīng)力，且應(yīng)力持續(xù)作用。加速度計數(shù)據(jù)手冊中常標(biāo)注兩項核心指標(biāo)：抗沖擊能力與耐振動性。盡管二者看似相似，但設(shè)計目的與測試方式卻截然不同。理解兩者間的差異，是為特定應(yīng)用場景選擇合適傳感器的關(guān)鍵。

抗沖擊能力：應(yīng)對突發(fā)應(yīng)力

抗沖擊能力指加速度計承受非重復(fù)性、高幅值加速度事件的能力。這類事件通常發(fā)生在元件（集成電路，IC）的搬運、裝配過程中，或設(shè)備意外跌落時。

測試標(biāo)準(zhǔn)：IEC 60068-2-27。

測試方法：向傳感器的所有軸向施加特定幅值與持續(xù)時間的半正弦波脈沖。

測試目的：確保傳感器在遭受偶發(fā)但極端的沖擊后，仍能保持正常功能。

失效機制：通常會導(dǎo)致嚴(yán)重失效，例如MEMS結(jié)構(gòu)中的懸臂梁斷裂，但也可能引發(fā)系統(tǒng)級問題，如內(nèi)部焊線脫落或芯片開裂。

耐振動性：應(yīng)對日常應(yīng)力

與之相反，耐振動性衡量的是傳感器在持續(xù)或重復(fù)性振動環(huán)境下保持可靠運行的能力；這類環(huán)境在眾多工業(yè)與交通運輸應(yīng)用中屢見不鮮。

測試標(biāo)準(zhǔn)：通常為MIL-STD-883 Method 2007（或制造商自行定義的標(biāo)準(zhǔn)）。

測試方法：在規(guī)定的幅值與頻率范圍內(nèi)施加持續(xù)隨機振動。

測試目的：驗證傳感器在工作狀態(tài)下的振動環(huán)境中具備長期可靠性。

失效機制：常因防護(hù)結(jié)構(gòu)磨損，導(dǎo)致粘連或顆粒污染問題。

為何需要區(qū)分二者

沖擊與振動對傳感器造成的應(yīng)力作用存在本質(zhì)差異。一款抗沖擊能力達(dá)數(shù)千g的傳感器，可能在數(shù)百g的持續(xù)振動下失效。這種區(qū)分對于確保傳感器的抗損毀能力與性能至關(guān)重要。抗沖擊能力針對的是可能導(dǎo)致系統(tǒng)級失效的非重復(fù)性極高幅值沖擊，而耐振動性針對的是長期可靠性。

1 “g”指重力加速度（9.81m/s2）。

圖1.(a)MEMS加速度計結(jié)構(gòu)示意圖。(b)其中一個限位器的放大圖。限位器可在高沖擊事件下保護(hù)MEMS結(jié)構(gòu)。

MEMS傳感器的設(shè)計對沖擊與振動這兩項指標(biāo)的耐受能力起著決定性作用。例如，機械限位器與防粘連涂層材料是設(shè)計中用于保護(hù)MEMS結(jié)構(gòu)完整性的部分措施。防粘連涂層可產(chǎn)生低表面能量和/或電絕緣性，而機械限位器能防止檢測質(zhì)量塊與固定指組完全接觸。圖1展示了MEMS加速度計的簡化結(jié)構(gòu)示意圖。機械限位器通常設(shè)有4μm至5μm寬的鋸齒狀凸起（小凸點），可在高沖擊事件下減小接觸面積，從而有助于避免粘連問題。

以推土機等重型機械為例，其需使用加速度計作為傾角傳感器，以確保在不平坦地形上正常作業(yè)或?qū)崿F(xiàn)地形平整。在此類應(yīng)用中，加速度計可能會承受峰值幅值達(dá)數(shù)十g（甚至超過100g）的持續(xù)隨機振動，且需具備高傾斜精度、高溫穩(wěn)定性與可重復(fù)性。

從性能角度來看，ADXL357B這類加速度計是理想之選。盡管其滿量程范圍限定為±40g，但它能夠承受更大的振動。振動安全區(qū)在很大程度上取決于傳感器的機械設(shè)計，包括諧振頻率、阻尼特性及觸發(fā)機械限位器所需的加速度輸入（稱為機械余量）。為說明振動安全區(qū)，我們可分析機械余量與頻率的關(guān)系，如圖2所示。

圖2.ADXL357B機械余量與頻率的關(guān)系。諧振點附近的機械余量會降低，凸顯了阻尼在傳感器設(shè)計中的重要性。根據(jù)MIL-STD-883 Method 2007測試條件C的規(guī)范，ADXL357B的額定指標(biāo)為：可承受頻率范圍0Hz至2kHz、峰值幅值70g的持續(xù)隨機振動。

這有助于工程師了解檢測質(zhì)量塊接觸限位器前的余量大小，并了解傳感器諧振頻率與品質(zhì)因數(shù)在其中所起的作用。當(dāng)輸入振動被品質(zhì)因數(shù)機械放大時，振動頻率越接近傳感器諧振頻率，機械余量就會有效降低。

電氣帶寬與機械極限

加速度計的內(nèi)置信號鏈通常配備模擬濾波器與數(shù)字濾波器，而像ADXL380這樣的新型傳感器，甚至還搭載了數(shù)字均衡濾波器，可有效將帶寬平坦度擴展至4kHz。這一特性在路噪降噪(RNC)等應(yīng)用中十分實用；此類場景下，要生成有效的抗噪聲信號，精準(zhǔn)檢測寬頻振動必不可少。但需注意，電氣濾波或均衡處理無法消除MEMS結(jié)構(gòu)受到的物理激勵。傳感器仍會承受機械應(yīng)力，若運行時超出傳感器的機械余量，可能導(dǎo)致粘連、疲勞或結(jié)構(gòu)劣化。因此，即使電氣輸出在擴展帶寬范圍內(nèi)呈現(xiàn)線性特性，設(shè)計人員也必須確保振動幅值處于安全的機械極限之內(nèi)。

沖擊與傳感器滿量程范圍

值得注意的是，ADXL357B（±40g量程）與ADXL380（最高±16g量程），其抗損毀等級與ADXL373（±400g量程）這類傳感器相同，均為峰值幅值10,000g、脈寬0.1ms的半正弦波沖擊曲線。不過，ADXL373的振動機械余量要高得多。沖擊耐受等級可視為一項系統(tǒng)級測試：測試對象不僅包括MEMS傳感器本身，內(nèi)部焊線、芯片貼裝、封裝乃至焊點的完整性，均需接受測試的考驗。ADI的這類MEMS傳感器或許能承受超過10,000g的重復(fù)沖擊而不發(fā)生結(jié)構(gòu)失效，但對于構(gòu)成這類器件的系統(tǒng)其他部件而言，情況可能并非如此。

沖擊測試

由于需要專用設(shè)備（如高度可達(dá)數(shù)米且需精準(zhǔn)控制的落塔或沖擊臺），在企業(yè)內(nèi)部復(fù)現(xiàn)標(biāo)準(zhǔn)化沖擊測試往往頗具挑戰(zhàn)性。因此，工程師常會尋求實用的替代方案。一種常用方法是在降低峰值加速度的同時延長脈寬，以保持沖擊能量等效。這種方法的原理是：加速度-時間曲線下的面積（即速度）是衡量沖擊強度的關(guān)鍵指標(biāo)，因其與沖擊能量直接相關(guān)。對于半正弦沖擊脈沖的強度，可通過公式1估算沖擊速度：

其中V是速度（單位為m/s），A是峰值加速度（單位為m/s2），D是脈沖持續(xù)時間（單位為ms）。例如，根據(jù)IEC 60068-2-27的規(guī)定，200g加速度持續(xù)3ms的沖擊，與3000g加速度持續(xù)0.2ms的沖擊，二者產(chǎn)生的沖擊速度均約為3.8m/s。這種等效性使得測試裝置更易獲取，同時仍能近似模擬標(biāo)準(zhǔn)沖擊事件的機械能量。

結(jié)語

抗沖擊能力與耐振動性常被誤解為可互換的指標(biāo)，但在MEMS加速度計中，二者代表著本質(zhì)不同的應(yīng)力特征與失效機制。沖擊事件雖偶發(fā)但強度極高，需依靠堅固的機械設(shè)計避免災(zāi)難性損壞；而振動則具有持續(xù)性與潛伏性，要求傳感器具備長期可靠性與抗磨損能力。

理解兩者間的差異，是工程師為惡劣環(huán)境挑選傳感器的重要基礎(chǔ)。通過考量機械余量、阻尼特性及系統(tǒng)級穩(wěn)健性等因素，設(shè)計人員不僅能確保所選傳感器能夠經(jīng)受住嚴(yán)苛環(huán)境的考驗，更能保障長期穩(wěn)定運行。

歸根結(jié)底，使傳感器指標(biāo)與應(yīng)用場景的機械應(yīng)力特征相匹配，是實現(xiàn)耐用性與精度的關(guān)鍵。通過選用合適的傳感器，并清晰掌握傳感器的性能局限與優(yōu)勢，工程師完全可在極端環(huán)境中放心地部署MEMS技術(shù)。

致謝

感謝Mark Looney和Tyler Dunn提供的意見和支持。

參考文獻(xiàn)

IEC 60068-2-27：Environmental Testing–Part 2-27: Tests–TestEa and Guidance: Shock。

MIL-STD-883 Method 2007: Test Method Standardfor Microcircuits。

《ADI可靠性手冊》，ADI公司，2014年11月。