用高速回轉體的動量矩敏感殼體相對慣性空間繞正交于自轉軸的一個或二個軸的角運動檢測裝置。利用其他原理制成的角運動檢測裝置起同樣功能的也稱陀螺儀。 目前多數以加速度計搭配陀螺儀通常經過整合設計、來建構可進行動態(tài)追蹤與捕捉3D空間的完整運動軌跡。

所謂的陀螺儀，簡言之即為可測量沿著一個軸、或多軸運動的角速度動態(tài)數據，基本上陀螺儀的使用是用來補充MEMS加速計設計方案、提升動態(tài)感測精度的輔助強化組件，透過加速度感測搭配角速度的實時參照，可以讓操作系統(tǒng)獲得更精確的動作感測數據。

陀螺儀解決方案在組件用量越來越多、料件成本也持續(xù)壓低。如，Nintendo于2009年推出Wii Motion Plus控制器游戲桿，利用追加MEMS陀螺儀設計方案，來補強原有體感游戲控制器的感測精度，透過Motion Plus偵測體感游戲桿的3D角速度變化量，帶動游戲機導入MEMS陀螺儀銷售額成長近3倍！

另智能手機產品也跟上MEMS陀螺儀使用風潮，iPhone 4為全球第一支內建MEMS陀螺儀的智能手機，而針對智能手機應用方案供應MEMS陀螺儀的業(yè)者，包含STMicroelectronics、InvenSense、Analog Devices等。

MEMS陀螺儀的制電路內部可內嵌進階電源管理功能，可在不需要動態(tài)傳感器功能的狀態(tài)下直接將MEMS傳感器整組關閉，或搭配系統(tǒng)的使用狀態(tài)區(qū)隔深度睡眠、一般睡眠與正常運作狀態(tài)，藉此達到MEMS陀螺儀最大幅度的節(jié)能效用，降低MEMS組件的驅動功耗。