為了提升并確保Micro LED顯示器的良率，檢測(cè)與修復(fù)是制程中不可或缺的關(guān)鍵步驟。然而，對(duì)致力于生產(chǎn)Micro LED顯示器的廠商來說，檢測(cè)并修復(fù)巨量而細(xì)小的Micro LED芯片，依然是一項(xiàng)艱巨挑戰(zhàn)。

LED測(cè)試包括光致發(fā)光測(cè)試（Photoluminescence; PL）及電致發(fā)光測(cè)試（Electroluminescence; EL），前者能在不接觸且不損壞LED芯片的情況下，對(duì)LED芯片進(jìn)行測(cè)試，但檢測(cè)效果跟EL測(cè)試相比略為遜色，無法確實(shí)發(fā)現(xiàn)所有瑕疵，可能降低后續(xù)的生產(chǎn)良率。相反的，EL測(cè)試透過通電LED芯片來進(jìn)行測(cè)試，能夠找出更多缺陷，卻可能因接觸而造成芯片損傷。而Micro LED由于芯片體積過小，難以適用傳統(tǒng)測(cè)試設(shè)備，以EL檢測(cè)的難度相當(dāng)高，但PL測(cè)試又可能出現(xiàn)遺漏，造成檢測(cè)效率不佳。

因此，技術(shù)開發(fā)人員與設(shè)備制造商持續(xù)精進(jìn)研發(fā)巨量測(cè)試技術(shù)，以提高檢測(cè)效率，同時(shí)避免損及芯片。廈門大學(xué)與新竹交大的研究團(tuán)隊(duì)合力研發(fā)了一種攝影機(jī)型顯微成像系統(tǒng)作Micro LED測(cè)試使用，該系統(tǒng)結(jié)合了計(jì)算機(jī)、電流、數(shù)位攝影機(jī)、電流供應(yīng)棒與顯微鏡搭配支援軟件，能夠捕捉并分析顯微鏡影像，測(cè)量 Micro LED芯片的亮度。

設(shè)備專門廠柯尼卡美能達(dá)集團(tuán)（Konica Minolta Group）也已通過德國(guó) Instrument Systems 和美國(guó)瑞淀光學(xué)系統(tǒng)（Radiant Vision Systems）兩家附屬公司著手開發(fā)Micro LED與Mini LED檢測(cè)系統(tǒng)，該集團(tuán)所涉領(lǐng)域廣泛，包括伽瑪校正、均勻度與LED芯片檢測(cè)等。

由于Micro LED晶粒體積小，如何在挑出缺陷晶粒之后有效維修并替換，也成了一項(xiàng)艱巨任務(wù)。Micro LED顯示器廠商目前使用的修復(fù)方案包括紫外線照射維修技術(shù)、雷射融斷維修技術(shù)、選擇性拾取維修技術(shù)、選擇性雷射維修技術(shù)及備援電路設(shè)計(jì)方案。

美國(guó)新創(chuàng)公司Tesoro提出制程檢測(cè)方案，結(jié)合了非接觸型EL測(cè)試與波束定位 （BAR） 的轉(zhuǎn)移方法，能夠只將好的Micro LED芯片高速轉(zhuǎn)移到目標(biāo)基板上。

來源：Tesoro

日本設(shè)備廠Toray則推出Micro LED檢修解決方案，以光線自動(dòng)檢測(cè)工具進(jìn)行零接觸檢測(cè)，檢測(cè)完以后使用其雷射修剪工具，根據(jù)檢測(cè)結(jié)果剔除Micro LED芯片不良品。

LEDinside 研究協(xié)理儲(chǔ)于超指出，Micro LED 顯示器生產(chǎn)成本大部分源自于修復(fù)與巨量轉(zhuǎn)移，甚至表示如果要達(dá)成更高良率，關(guān)鍵仍在于整個(gè)制程的提升，從磊晶硅晶圓片到巨量轉(zhuǎn)移。