據悉，英國光電子技術解決方案的領先開發(fā)商Plessey Semiconductor日前表示，已從晶圓鍵合和光刻設備生產商EVG購買了GEMINI晶圓鍵合系統(tǒng)。

該公司計劃使用該系統(tǒng)擴大其GaN-on-Si MicroLED的制造。Plessey表示，GEMINI生產晶圓鍵合系統(tǒng)將在Plessey位于英國普利茅斯的制造工廠展開粘合和校準的工作。與此同時，該系統(tǒng)還可將其GaN-on-Si MicroLED陣列與晶圓級背板緊密結合，具有極小像素尺寸所需的高對準精度。

EVG表示，其獲得專利的SmartView ? NT自動鍵合對準系統(tǒng)技術可實現晶圓的正面對準，具有極高的精度。

此外，其GEMINI自動化生產晶圓鍵合系統(tǒng)實現了最高水平的自動化和流程集成。該全自動平臺可實現晶圓到晶圓對準以及提供高達300mm的晶圓鍵合工藝，適用于批量生產。