北京，中國 - Media OutReach - 二零二零年十二月十八日 - Advanced Energy Industries, Inc. 一直致力于開發(fā)各種先進的高精度電源轉換、測量和控制系統等解決方案，這方面的技術更一直領先全球。該公司宣布推出一系列全新的 MAXstreamTM 遠程等離子體源 (RPS) 產品，其特點是適用于半導體芯片工藝的反應腔室等離子清洗系統。MAXstream系列產品有多個不同型號，操作范圍非常寬廣，其他優(yōu)點包括電源準確度較高、優(yōu)于同級產品的等離子噴射引燃能力、以及更高的穩(wěn)定性，因此這是市場上最理想的遠程等離子體源解決方案。

Advanced Energy 半導體產品副總裁兼總經理 Peter Gillespie 表示：「我們的客戶曾向我們表示市場上欠缺一款高性能而又穩(wěn)定可靠的RPS產品，希望 Advanced Energy 能夠進軍這個市場，滿足業(yè)者的需求。我們順應時勢，實現他們的夢想。這系列全新的MAXstream產品不但為客戶的工藝設備提供一個極具成本效益而又穩(wěn)定可靠的RPS解決方案，而且還讓 Advanced Energy 因應市場趨勢，加快進軍這個近年少有創(chuàng)新技術出現但年銷售額約值1.5億美元的RPS市場 1。至今為止，這系列產品在市場上很受歡迎，對我們來說這是一個很大的鼓舞。我們在今個月內會繼續(xù)交貨予多個OEM客戶，預計會繼續(xù)取得亮麗的成績。」

MAXstream遠比競爭對手的RPS解決方案優(yōu)勝，因為這款新產品的雙等離子體源引燃核心采用完善的設計，確保等離子引燃時保持優(yōu)于同級競爭產品的穩(wěn)定性。由于每次分開出擊的引燃非常穩(wěn)定可靠，令整個操作能保持其穩(wěn)定性，減少壞機情況出現。MAXstream也充分利用 Advanced Energy 使用多年并證實有效的分離等離子體源物料和相關技術，確保可延長工藝反應腔室的壽命周期以及減少由此而產生的微粒。

Advanced Energy 的MAXstream RPS 產品可以輕易插入現有的RPS系統之中，以確?？膳c現有系統無縫銜接，方便換代更新?？蛻糁灰〕鲆幌虮憩F不太理想RPS，改用MAXstream便可提高工藝設備的生產力、性能和穩(wěn)定性。他們也可獲得 Advanced Energy 提供優(yōu)于競爭對手的全球服務和支持。Advanced Energy 在世界各地設有十多間服務中心，為各地客戶提供現場服務和應用技術支持。

MAXstream產品系列共有MAXstream 300、600、800、1000和1200等多個不同型號，每分鐘的氣體流量分別為3、6、8、10和12公升(liter)，讓客戶可以按照自己的工藝，選用一款價格符合預算而又能充分發(fā)揮系統性能的型號。MAXstream 300 適用于較低流量的工藝 (用于清洗的氣體每分鐘流量高達3公升)，外型則比高流量的型號更為小巧。

Advanced Energy 遠程等離子體源總經理 Shaun Wilson 表示：「幾乎生產每一種半導體芯片所采用的等離子工藝都需要清洗反應腔室。我們今次推出MAXstream系列產品，為客戶的工藝反應腔室清洗系統提供一個性能強勁、穩(wěn)定可靠和具成本效益的解決方案。我們不但降低設備的壞機時間，而且還協助半導體業(yè)者滿足數據經濟圈的市場需求?！?

如欲進一步查詢有關產品的技術規(guī)格，可登入 Advanced Energy 公司網頁查閱MAXstream的產品專頁。