通過技術(shù)和Equipment Intelligence^?（設(shè)備智能）的創(chuàng)新，Vantex?重新定義了高深寬比刻蝕，助力芯片制造商推進(jìn)3D NAND和DRAM的技術(shù)路線圖。

近日，泛林集團(tuán)（Nasdaq: LRCX）發(fā)布了專為其最智能化的刻蝕平臺Sense.i?所設(shè)計(jì)的最新介電質(zhì)刻蝕技術(shù)Vantex?。基于泛林集團(tuán)在刻蝕領(lǐng)域的領(lǐng)導(dǎo)地位，這一開創(chuàng)性的設(shè)計(jì)將為目前和下一代NAND和DRAM存儲設(shè)備提供更高的性能和更大的可延展性。

3D存儲設(shè)備通常被應(yīng)用于例如智能手機(jī)、顯卡和固態(tài)存儲驅(qū)動等。芯片制造商們一直以來都在通過縱向增加設(shè)備尺寸和橫向減少關(guān)鍵尺寸（CD）持續(xù)降低先進(jìn)技術(shù)產(chǎn)品的位成本，將3D NAND和DRAM中的刻蝕深寬比提升至更高水平。

Vantex的全新腔室設(shè)計(jì)能夠以更高的射頻（RF）功率刻蝕更高深寬比的器件，提升產(chǎn)能，降低成本。更高的功率和射頻脈沖技術(shù)的結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)嚴(yán)苛的CD控制，從而改進(jìn)器件功能。

根據(jù)3D NAND設(shè)備的技術(shù)路線圖，每一代刻蝕都需要實(shí)現(xiàn)更大的深度，這也推動了提升刻蝕輪廓均勻性的需求。Vantex技術(shù)控制了刻蝕的垂直角度，以滿足這些3D器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)密度要求，并在整個(gè)300mm晶圓上實(shí)現(xiàn)高良率。

“10多年來，泛林集團(tuán)一直在高深寬比刻蝕領(lǐng)域保持行業(yè)領(lǐng)先，我們所獨(dú)有的經(jīng)驗(yàn)使Vantex的腔室設(shè)計(jì)從一開始就能夠?yàn)槲磥淼脑S多技術(shù)節(jié)點(diǎn)提供可延展性和創(chuàng)新性?！?泛林集團(tuán)高級副總裁、刻蝕產(chǎn)品事業(yè)部總經(jīng)理Vahid Vahedi表示，“Vantex重新定義了刻蝕平臺性能和生產(chǎn)效率的行業(yè)標(biāo)桿，這一突破性的刻蝕技術(shù)對于客戶來說非常有吸引力?！?/span>

泛林集團(tuán)Sense.i刻蝕平臺具有Equipment Intelligence^?（設(shè)備智能）功能，可以從數(shù)百個(gè)傳感器收集數(shù)據(jù)，監(jiān)測系統(tǒng)和工藝性能。借助Sense.i系統(tǒng)的高帶寬通信，Vantex刻蝕腔室在每個(gè)晶圓中采集的數(shù)據(jù)多于市場上其他任何設(shè)備——它能夠更有效地分析和利用數(shù)據(jù)，以提高晶圓上和晶圓間的性能。

泛林集團(tuán)將持續(xù)向存儲器行業(yè)的領(lǐng)軍客戶提供Sense.i平臺上的Vantex以期獲得客戶認(rèn)可和重復(fù)訂單，助力客戶在2021年實(shí)現(xiàn)高量產(chǎn)。

泛林集團(tuán)Vantex?新型刻蝕腔室搭載其行業(yè)領(lǐng)先的Sense.i?刻蝕平臺

關(guān)于泛林集團(tuán)

泛林集團(tuán)（納斯達(dá)克股票代碼：LRCX）是全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新晶圓制造設(shè)備及服務(wù)主要供應(yīng)商。作為全球領(lǐng)先半導(dǎo)體公司可信賴的合作伙伴，我們結(jié)合了卓越的系統(tǒng)工程能力、技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)力，以及幫助客戶成功的堅(jiān)定承諾，通過提高器件性能來加速半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新。事實(shí)上，當(dāng)今市場上幾乎每一顆先進(jìn)的芯片都使用了泛林集團(tuán)的技術(shù)。泛林集團(tuán)是一家財(cái)富500強(qiáng)公司，總部位于美國加利福尼亞州弗里蒙特市，業(yè)務(wù)遍及世界各地。欲了解更多信息，請?jiān)L問：www.lamresearch.com。

前瞻性聲明

本新聞稿包含美國1995年《私人證券訴訟改革法案》安全港條款規(guī)定前瞻性的陳述。這些前瞻性陳述包含但不僅限于下列內(nèi)容：泛林集團(tuán)的產(chǎn)品性能和服務(wù)；客戶使用泛林集團(tuán)的設(shè)備所達(dá)成的結(jié)果；泛林集團(tuán)的客戶對未來創(chuàng)新的需求，以及泛林集團(tuán)產(chǎn)品滿足此類需求的能力；泛林集團(tuán)可從現(xiàn)有裝機(jī)客戶群體獲得的經(jīng)驗(yàn)。所有前瞻性陳述均基于現(xiàn)有預(yù)期，可能受到以下影響：風(fēng)險(xiǎn)，不確定性，條件的變化、重要性、價(jià)值和效果包括提交至美國證券交易委員會的存案文件中述明的風(fēng)險(xiǎn)和不確定性，尤其是截至2020年6月28日財(cái)年的10-K年度報(bào)表，以及截至2020年9月27日的10-Q季度報(bào)表中所陳述的風(fēng)險(xiǎn)因素。這些不確定性和變化可能導(dǎo)致實(shí)際結(jié)果與預(yù)期不同。泛林集團(tuán)沒有任何義務(wù)更新本新聞稿中的任何前瞻性陳述。