MEMS可以說是21世紀(jì)被看好的技術(shù)之一,所以對于MEMS,大家都較為熟悉。在往期文章中,小編也對MEMS進(jìn)行了諸多介紹。為了增進(jìn)大家對MEMS的認(rèn)識,本文將基于兩點(diǎn)介紹MEMS:1. MEMS測試是什么?2. MEMS技術(shù)如何提高?如果你對MEMS具有興趣,不妨繼續(xù)往下閱讀哦。

一、MEMS測試

測試MEMS器件需要不同的方法，因?yàn)橛行㎝EMS芯片包含可動作的機(jī)械器件，測試時(shí)需要搖動器件來測試移動范圍與結(jié)構(gòu)的一致性，但是這種測試各自有相應(yīng)的問題，例如成本。

“用大型ATE設(shè)備測試成本敏感型MEMS器件有點(diǎn)像大炮打蚊子，并不適合，”NI首席市場開發(fā)經(jīng)理 Joey Tun說，“不過現(xiàn)在已經(jīng)有一點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)化的趨勢，每一個半導(dǎo)體公司都把MEMS當(dāng)作重要的IP資產(chǎn)，并開發(fā)自己的測試方案。與傳統(tǒng)測試方法完全不同，需要很多垂直領(lǐng)域的知識。”

Tun表示僅MEMS封裝本身就可能會需要線性加速測試或旋轉(zhuǎn)測試，當(dāng)然芯片公司可以基于公開平臺來定制化自己的測試需求。

“用戶決定MEMS器件如何測試，”他說，“例如，汽車級產(chǎn)品就對測試要求嚴(yán)格得多。現(xiàn)在，測試成本占了MEMS產(chǎn)品的成本的30%至50%。雖然測試成本有下降的趨勢，但物理世界還是給測試造成了很多麻煩。物理刺激(physical stimulus)有其本身的不確定性，需要微調(diào)和校正，但如果真對物理刺激進(jìn)行微調(diào)，還是非?；〞r(shí)間的?！?

二、MEMS技術(shù)提高

為滿足新一代射頻濾波器與壓電式MEMS(用于噴墨打印機(jī))的需求，人們開始把鈧和摻雜氮化鋁等新材料引入到MEMS中，因此微調(diào)和測試在MEMS產(chǎn)業(yè)中變得越來越普遍。

“噴墨打印機(jī)最開始采用溶劑型墨水，現(xiàn)在采用臘型(wax-based)墨水，”應(yīng)用材料的Rosa說，“要讓臘在100℃融化，才能噴射出去。但是要噴射更粘稠的材料，需要采用一個能輸出高壓力的致動器(actuator)，壓電致動器就是可輸出這種高壓力的器件?！?

Rosa表示在射頻濾波器與指紋識別傳感器中，采用鈧材料的情況越來越普遍，這些器件中鈧的濃度在5%到40%左右，每5%的濃度相當(dāng)于1分貝信噪比。“射頻濾波器的頻率響應(yīng)曲線基本是個鐘形，鈧材料可以讓頻響曲線的兩邊更為陡峭，所以提高了信噪比?！?

目前為止，幾乎所有的MEMS都是由8英寸晶圓產(chǎn)線制造的。不過由于汽車電子與物聯(lián)網(wǎng)需求的不斷攀升，導(dǎo)致8英寸產(chǎn)線利用率極高，晶圓代工廠開始考慮能否用12英寸晶圓制造MEMS，是否可行還要看是否12英寸MEMS有足夠的利潤率以保證投資能夠收回來。

“在MEMS制造中，工藝尺寸縮小與流程復(fù)用很多時(shí)候并不適用，因?yàn)槠涫欠菢?biāo)準(zhǔn)化的，”聯(lián)電的Ng說，“在一些特殊應(yīng)用方面我們成功了，出貨量大，也有規(guī)模經(jīng)濟(jì)效應(yīng)。但是有些MEMS器件的生產(chǎn)制造還存在不少挑戰(zhàn)，它們體積很小，用量又不多。由于芯片面積小，所以每個月用到的晶圓數(shù)量不大?！?

然而，8英寸晶圓存在一些局限。用8英寸晶圓制造的陀螺儀放不下大側(cè)壁(sidewall)，采用12英寸晶圓就可以解決這個問題。Rosa表示，因?yàn)楝F(xiàn)在把ASIC(專用集成電路，很多是12英寸工藝)和MEMS芯片放在一起加工的情況越來越多，因此把兩片12英寸晶圓綁定在一起越來越簡單，成本也越來越低。

“ASIC正在變得越來越復(fù)雜，開發(fā)人員在努力把更多的功能集成到一顆芯片上，”Rosa說，“在MEMS行業(yè)我們看到三個趨勢：驅(qū)動器件的新器件、現(xiàn)有器件的新應(yīng)用以及持續(xù)的價(jià)格下跌。MEMS公司必須在價(jià)格策略方面更具創(chuàng)意?！?

這些更具創(chuàng)意的策略包括晶圓綁定、將ASIC和MEMS封在一個先進(jìn)封裝里面，或者直接用CMOS工藝制造MEMS，從而將ASIC與MEMS封裝成單顆芯片。

以上便是此次小編帶來的”MEMS”相關(guān)內(nèi)容，通過本文，希望大家對MEMS測試以及MEMS技術(shù)提高具備一定的認(rèn)知。如果你喜歡本文，不妨持續(xù)關(guān)注我們網(wǎng)站哦，小編將于后期帶來更多精彩內(nèi)容。最后，十分感謝大家的閱讀，have a nice day!