[導(dǎo)讀]作為芯片生產(chǎn)過(guò)程中最關(guān)鍵設(shè)備的光刻機(jī)，有著極高的技術(shù)壁壘，有“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”之稱，代表著人類文明的智慧結(jié)晶。在芯片這樣一個(gè)爭(zhēng)分奪秒的行業(yè)里，時(shí)間就是金錢(qián)。據(jù)ASML官方介紹，ASML也一直在追求光刻機(jī)極致的速度，目前最先進(jìn)的DUV光刻機(jī)，每小時(shí)可以完成300片晶圓的光刻...
作為芯片生產(chǎn)過(guò)程中最關(guān)鍵設(shè)備的光刻機(jī)，有著極高的技術(shù)壁壘，有“半導(dǎo)體工業(yè)皇冠上的明珠”之稱，代表著人類文明的智慧結(jié)晶。在芯片這樣一個(gè)爭(zhēng)分奪秒的行業(yè)里，時(shí)間就是金錢(qián)。據(jù)ASML官方介紹，ASML也一直在追求光刻機(jī)極致的速度，目前最先進(jìn)的DUV光刻機(jī)，每小時(shí)可以完成300片晶圓的光刻生產(chǎn)。換算一下，完成一整片晶圓只需要12秒，這還得扣除掉晶圓交換和定位的時(shí)間，實(shí)際光刻時(shí)間要更短。而一片晶圓的光刻過(guò)程，需要在晶圓上近100個(gè)不同的位置成像電路圖案，所以完成1個(gè)影像單元（Field）的曝光成像也就約0.1秒。要實(shí)現(xiàn)這個(gè)成像速度，晶圓平臺(tái)在以高達(dá)7g的加速度高速移動(dòng)。F1賽車(chē)從0到100km/h加速約需要2.5秒，而晶圓平臺(tái)的7g加速度，若從0加速到100km/h只要約0.4秒。DUV是深紫外線，EUV是極深紫外線。從制程工藝來(lái)看，DUV只能用于生產(chǎn)7nm及以上制程芯片。而只有EUV能滿足7nm晶圓制造，并且還可以向5nm、3nm繼續(xù)延伸。一分鐘看懂芯片制造全過(guò)程↓↓↓芯片制造是一層層向上疊加的，最高可達(dá)上百次疊加。每一次的疊加，都必須和前一次完美重疊，重疊誤差要求是1~2納米。而晶圓從傳送模組放置在晶圓平臺(tái)上，會(huì)產(chǎn)生一定的機(jī)械誤差，而精密機(jī)械的誤差是微米等級(jí)（1微米=1,000納米）。每次曝光之前，必須針對(duì)每片晶圓做精密的量測(cè)，截取到晶圓每一個(gè)區(qū)塊納米等級(jí)的微小誤差。在曝光階段實(shí)時(shí)校正，達(dá)到納米等級(jí)的準(zhǔn)度。光刻機(jī)以極高的加速度進(jìn)行掃描曝光，在不到0.1秒的時(shí)間，又要急停并回頭往反方向掃描，這么大的力量如果不做控制，會(huì)讓整機(jī)產(chǎn)生振動(dòng)，是不可能達(dá)到完美成像的。ASML光刻機(jī)利用所謂的balance mass來(lái)吸收平衡晶圓平臺(tái)所施加于機(jī)座的反作用力，使整座機(jī)臺(tái)完全靜止。我們國(guó)產(chǎn)自主研發(fā)也突破了光刻機(jī)設(shè)備上非常多的核心零部件，包括雙工件臺(tái)、物鏡系統(tǒng)、浸沒(méi)系統(tǒng)和光源系統(tǒng)等等。雙工件臺(tái)由華卓精科負(fù)責(zé)，上海微電子也能提供整機(jī)裝備，光源系統(tǒng)有望通過(guò)中科院的高能同步輻射光源設(shè)備來(lái)解決。在國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)領(lǐng)域，先是中科院的高能同步輻射光源設(shè)備，然后是中科科美的兩大鍍膜裝置，分別可以解決國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)在光源以及光學(xué)鏡頭的需求。由中科院高能物理研究所參與承建的高能同步輻射光源設(shè)備，已經(jīng)實(shí)現(xiàn)安裝。這項(xiàng)高能同步輻射光源也被央視公開(kāi)“點(diǎn)名”，用了較長(zhǎng)篇幅進(jìn)行報(bào)道。中科科美分別研制了直線式勞埃透鏡鍍膜裝置和納米聚焦鏡鍍膜裝置。這兩項(xiàng)裝置主要面向光刻機(jī)的鏡頭配備，有了這些鍍膜裝置，可以很大程度提高國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)在光學(xué)鏡頭上的水準(zhǔn)。雖然我們制造出整臺(tái)EUV光刻機(jī)還有一段距離，但是隨著每一項(xiàng)技術(shù)的進(jìn)步，都在奠定國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的未來(lái)，加速國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)的發(fā)展。而且推動(dòng)了國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)從成熟工藝到高端工藝的邁進(jìn)。一旦成功掌握，中國(guó)可能會(huì)生產(chǎn)出更便宜，成本更低的光刻機(jī)設(shè)備。事實(shí)證明，外界的限制因素只會(huì)讓國(guó)產(chǎn)科技發(fā)展得更快，沒(méi)有什么力量是可以阻止國(guó)產(chǎn)科技崛起的。對(duì)國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)你有什么看法呢？END
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LED驅(qū)動(dòng)電源的輸入包括高壓工頻交流(即市電)、低壓直流、高壓直流、低壓高頻交流(如電子變壓器的輸出)等。
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驅(qū)動(dòng)電源
在工業(yè)自動(dòng)化蓬勃發(fā)展的當(dāng)下，工業(yè)電機(jī)作為核心動(dòng)力設(shè)備，其驅(qū)動(dòng)電源的性能直接關(guān)系到整個(gè)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和可靠性。其中，反電動(dòng)勢(shì)抑制與過(guò)流保護(hù)是驅(qū)動(dòng)電源設(shè)計(jì)中至關(guān)重要的兩個(gè)環(huán)節(jié)，集成化方案的設(shè)計(jì)成為提升電機(jī)驅(qū)動(dòng)性能的關(guān)鍵。
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工業(yè)電機(jī)
驅(qū)動(dòng)電源
LED 驅(qū)動(dòng)電源作為 LED 照明系統(tǒng)的 “心臟”，其穩(wěn)定性直接決定了整個(gè)照明設(shè)備的使用壽命。然而，在實(shí)際應(yīng)用中，LED 驅(qū)動(dòng)電源易損壞的問(wèn)題卻十分常見(jiàn)，不僅增加了維護(hù)成本，還影響了用戶體驗(yàn)。要解決這一問(wèn)題，需從設(shè)計(jì)、生...
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驅(qū)動(dòng)電源
照明系統(tǒng)
散熱
電動(dòng)汽車(chē)(EV)作為新能源汽車(chē)的重要代表，正逐漸成為全球汽車(chē)產(chǎn)業(yè)的重要發(fā)展方向。電動(dòng)汽車(chē)的核心技術(shù)之一是電機(jī)驅(qū)動(dòng)控制系統(tǒng)，而絕緣柵雙極型晶體管(IGBT)作為電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)中的關(guān)鍵元件，其性能直接影響到電動(dòng)汽車(chē)的動(dòng)力性能和...
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電動(dòng)汽車(chē)
新能源
驅(qū)動(dòng)電源
在現(xiàn)代城市建設(shè)中，街道及停車(chē)場(chǎng)照明作為基礎(chǔ)設(shè)施的重要組成部分，其質(zhì)量和效率直接關(guān)系到城市的公共安全、居民生活質(zhì)量和能源利用效率。隨著科技的進(jìn)步，高亮度白光發(fā)光二極管(LED)因其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)逐漸取代傳統(tǒng)光源，成為大功率區(qū)域...
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發(fā)光二極管
驅(qū)動(dòng)電源
LED
在LED照明技術(shù)日益普及的今天，LED驅(qū)動(dòng)電源的電磁干擾(EMI)問(wèn)題成為了一個(gè)不可忽視的挑戰(zhàn)。電磁干擾不僅會(huì)影響LED燈具的正常工作，還可能對(duì)周?chē)娮釉O(shè)備造成不利影響，甚至引發(fā)系統(tǒng)故障。因此，采取有效的硬件措施來(lái)解決L...
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LED照明技術(shù)
電磁干擾
驅(qū)動(dòng)電源
開(kāi)關(guān)電源具有效率高的特性,而且開(kāi)關(guān)電源的變壓器體積比串聯(lián)穩(wěn)壓型電源的要小得多,電源電路比較整潔,整機(jī)重量也有所下降,所以,現(xiàn)在的LED驅(qū)動(dòng)電源
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LED
驅(qū)動(dòng)電源
開(kāi)關(guān)電源
LED驅(qū)動(dòng)電源是把電源供應(yīng)轉(zhuǎn)換為特定的電壓電流以驅(qū)動(dòng)LED發(fā)光的電壓轉(zhuǎn)換器，通常情況下：LED驅(qū)動(dòng)電源的輸入包括高壓工頻交流(即市電)、低壓直流、高壓直流、低壓高頻交流(如電子變壓器的輸出)等。
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LED
隧道燈
驅(qū)動(dòng)電源
LED驅(qū)動(dòng)電源在LED照明系統(tǒng)中扮演著至關(guān)重要的角色。由于LED具有節(jié)能、環(huán)保、長(zhǎng)壽命等優(yōu)點(diǎn)，使得LED照明在各個(gè)領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。然而，LED的電流、電壓特性需要特定的驅(qū)動(dòng)電源才能正常工作。本文將介紹常用的LED驅(qū)動(dòng)電...
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LED驅(qū)動(dòng)電源
led照明
LED驅(qū)動(dòng)電源是把電源供應(yīng)轉(zhuǎn)換為特定的電壓電流以驅(qū)動(dòng)LED發(fā)光的電源轉(zhuǎn)換器，通常情況下：LED驅(qū)動(dòng)電源的輸入包括高壓工頻交流(即市電)、低壓直流、高壓直流、低壓高頻交流(如電子變壓器的輸出)等。
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LED
驅(qū)動(dòng)電源
高壓工頻交流
崧盛股份9日發(fā)布投資者關(guān)系活動(dòng)記錄表，就植物照明發(fā)展趨勢(shì)、行業(yè)壁壘等問(wèn)題進(jìn)行分享。植物照明未來(lái)市場(chǎng)需求廣闊崧盛股份指出，植物照明將會(huì)走向長(zhǎng)期產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。主要原因有三：第一，LED植物照明賦能終端種植更具有經(jīng)濟(jì)價(jià)值。由于LE...
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崧盛股份
驅(qū)動(dòng)電源
在當(dāng)今高度發(fā)展的技術(shù)中，電子產(chǎn)品的升級(jí)越來(lái)越快，LED燈技術(shù)也在不斷發(fā)展，這使我們的城市變得豐富多彩。 LED驅(qū)動(dòng)電源將電源轉(zhuǎn)換為特定的電壓和電流，以驅(qū)動(dòng)LED發(fā)光。通常情況下：LED驅(qū)動(dòng)電源的輸入包括高壓工頻交流電(即...
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LED
驅(qū)動(dòng)電源
高壓直流
人類社會(huì)的進(jìn)步離不開(kāi)社會(huì)上各行各業(yè)的努力，各種各樣的電子產(chǎn)品的更新?lián)Q代離不開(kāi)我們的設(shè)計(jì)者的努力，其實(shí)很多人并不會(huì)去了解電子產(chǎn)品的組成，比如LED電源。
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LED
驅(qū)動(dòng)電源
低壓直流
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，LED技術(shù)也在不斷發(fā)展，為我們的生活帶來(lái)各種便利，為我們提供各種各樣生活信息，造福著我們?nèi)祟?。LED驅(qū)動(dòng)電源實(shí)際上是一種電源，但是它是一種特定的電源，用于驅(qū)動(dòng)LED發(fā)射帶有電壓或電流的光。 因此，LE...
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LED
驅(qū)動(dòng)電源
電流
LED燈作為一種新型節(jié)能和無(wú)污染光源，由于其特有的發(fā)光照明特性，在現(xiàn)代照明應(yīng)用中發(fā)揮著革命性的作用。作為 LED 照明產(chǎn)業(yè)鏈中最為核心的部件之一，LED 驅(qū)動(dòng)電源的驅(qū)動(dòng)控制技術(shù)所存在的可靠性低、成本高等典型問(wèn)題一直制約著...
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多路
LED
驅(qū)動(dòng)電源
隨著社會(huì)的快速發(fā)展，LED技術(shù)也在飛速發(fā)展，為我們的城市的燈光煥發(fā)光彩，讓我們的生活越來(lái)越有趣，那么你知道LED需要LED驅(qū)動(dòng)電源嗎?那么你知道什么是LED驅(qū)動(dòng)電源嗎?
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LED
開(kāi)關(guān)電源
驅(qū)動(dòng)電源
早前有新聞稱，Cree在2018年開(kāi)始宣布轉(zhuǎn)型高科技半導(dǎo)體領(lǐng)域，并一邊逐漸脫離照明與LED相關(guān)業(yè)務(wù)，一邊持續(xù)投資半導(dǎo)體。在今日，Cree宣布與SMART Global Holdings, Inc.達(dá)成最終協(xié)議，擬將LED...
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cree
led照明
