什么是光刻機(jī)？它在應(yīng)用時(shí)的基本原理是什么？
光刻機(jī)的主要性能指標(biāo)有：支持基片的尺寸范圍，分辨率、對(duì)準(zhǔn)精度、曝光方式、光源波長(zhǎng)、光強(qiáng)均勻性、生產(chǎn)效率等。-
什么是光刻機(jī)？它在應(yīng)用時(shí)的基本原理是什么？
光刻機(jī)(Lithography)是一種常見的微電子制造技術(shù)，用來在半導(dǎo)體片表面制造電路圖案。光刻機(jī)利用特殊的光學(xué)技術(shù)從導(dǎo)入的制圖數(shù)據(jù)生成微小的圖案，并將它們印制到半導(dǎo)體片上。目前，光刻機(jī)是制造集...
2023-08-26 15:40:01 -
總投資130億元！江蘇一芯片廠進(jìn)入破產(chǎn)清算，二手ASML光刻機(jī)拍賣無人問津
...光刻機(jī)進(jìn)行了公開拍賣。但因缺少潛在買家，該設(shè)備的拍賣信息目前已被撤回。圖片來源：全國(guó)企業(yè)破產(chǎn)重整案件信息網(wǎng)圖片來源：江蘇省淮安市淮陰區(qū)人民法院淘寶網(wǎng)司法拍賣網(wǎng)絡(luò)平臺(tái)根據(jù)官網(wǎng)介...
2023-08-30 08:39:44 -
光刻機(jī)的國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀如何？在技術(shù)上存在哪些差距？
...光刻機(jī)行業(yè)一直處于發(fā)展的起步階段，盡管在技術(shù)上積累了大量的經(jīng)驗(yàn)，已經(jīng)能夠制作出14納米左右的芯片，但是相對(duì)國(guó)外的工藝而言，這還有很大的差距，面臨著重重挑戰(zhàn)。目前，中國(guó)的光刻機(jī)...
2023-08-27 09:00:01 -
日本光刻機(jī)徹底沒落！尼康二季度只賣了6臺(tái)
...光刻機(jī)大廠尼康于8月8日盤后公布了今年二季度(2023年4-6月)財(cái)報(bào)。雖然中高端數(shù)字相機(jī)銷售強(qiáng)勁、出貨量增加，但是由于光刻機(jī)銷售量萎縮，導(dǎo)致合并營(yíng)收雖然較去年同期增長(zhǎng)了8....
2023-08-11 12:49:36 -
光刻機(jī)的工藝流程是怎樣的？設(shè)備的售價(jià)如何？
...光刻機(jī)是現(xiàn)代集成電路制造過程中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一，它在半導(dǎo)體工藝中起著至關(guān)重要的作用。本文將詳細(xì)介紹光刻機(jī)的工藝流程以及設(shè)備的售價(jià)。光刻技術(shù)是一種通過使用光學(xué)投影系統(tǒng)將芯...
2023-08-08 10:50:05 -
ASML狂賺500多億：“多余”的光刻機(jī)全都賣到了中國(guó)
...光刻機(jī)巨頭阿斯麥（ASML）發(fā)布了2023年第二季度財(cái)報(bào)。2023年第二季度，ASML實(shí)現(xiàn)了凈銷售額69億歐元（約合人民幣555億元），同比增長(zhǎng)27%；凈利潤(rùn)達(dá)19億歐元（約...
2023-07-20 19:53:25 -
ASML否認(rèn)特供版DUV：沒有面向中國(guó)推出特別版光刻機(jī)
...光刻機(jī)，不過此事已經(jīng)辟謠，ASML表示一直以來ASML都遵守所適用的法律條例，公司并沒有面向中國(guó)市場(chǎng)推出特別版的光刻機(jī)。此前消息稱，ASML推出的特別版DUV光刻機(jī)基于Twi...
2023-07-07 13:12:18 -
ASML：支持7nm高端DUV光刻機(jī)仍可出口
...光刻機(jī)產(chǎn)品共有三款，分別是：TWINSCANNXT:1980Di、TWINSCANNXT:2000i、TWINSCANNXT:2050i。阿斯麥3月曾表示，預(yù)計(jì)2000i和2...
2023-07-05 12:53:51 -
ASML確認(rèn)！荷蘭管制新規(guī)將影響這幾種型號(hào)光刻機(jī)出口
...光刻機(jī)巨頭ASML可以在此日期之前開始提交出口許可證申請(qǐng)，而荷蘭政府將會(huì)根據(jù)具體情況批準(zhǔn)或拒絕這些申請(qǐng)?！商m升級(jí)管制新規(guī)在荷蘭政府限制出口的消息傳出之后，ASML第一時(shí)間在...
2023-07-02 22:07:08 -
ASML合作IMEC：共同加速推進(jìn)新一代光刻機(jī)
...光刻機(jī)大廠ASML高管對(duì)外表示，半導(dǎo)體業(yè)只有通力合作，建立完全自主的產(chǎn)業(yè)鏈，即使并非不可能也會(huì)極其困難。
2023-06-30 12:53:32 -
ASML下代EUV光刻機(jī)年底問世：1nm工藝
...光刻機(jī)是少不了的關(guān)鍵設(shè)備，目前只有ASML能制造，單臺(tái)售價(jià)10億人民幣，今年底還會(huì)迎來下一代EUV光刻機(jī)，價(jià)格也會(huì)大漲。光刻機(jī)的分辨率越高，越有利于制造更小的晶體管，而分辨率...
2023-06-19 12:57:54 -
光刻機(jī)將成為歷史！麻省理工華裔研究出 2D 晶體管，輕松突破 1nm 工藝！
...光刻機(jī)作為芯片生產(chǎn)過程中的最主要的設(shè)備之一，其重要性不言而喻。先進(jìn)的制程工藝完全依賴于先進(jìn)的光刻機(jī)設(shè)備，比如現(xiàn)階段臺(tái)積電最先進(jìn)的第二代3nm工藝，離不開EUV光刻機(jī)。然而，前...
2023-05-29 10:00:16 -
ASML加快拓展中國(guó)業(yè)務(wù)：支持7nm高端DUV光刻機(jī)可出口
...光刻機(jī)，屬于193nm(光源)光刻機(jī)(分為干式和浸沒式)，可以被用于16nm至7nm先進(jìn)制程芯片的制造，但是目前也有被業(yè)界廣泛應(yīng)用在45nm及以下的成熟制程當(dāng)中。ASML公司...
2023-04-28 12:59:44 -
臺(tái)積電發(fā)布Q1季度財(cái)報(bào)：EUV光刻機(jī)日耗電3萬度
...光刻機(jī)，新一代的EUV光刻機(jī)更是夸張，功率達(dá)到了100萬瓦，是上一代的10倍左右，每天耗電3萬度，而臺(tái)積電去年就差不多80臺(tái)EUV光刻機(jī)了，耗電量可想而知。據(jù)統(tǒng)計(jì)，臺(tái)積電20...
2023-04-23 13:06:17 -
ASML加大中國(guó)市場(chǎng)開拓：7nm高端DUV光刻機(jī)可出口
...光刻機(jī)，屬于193nm(光源)光刻機(jī)(分為干式和浸沒式)，可以被用于16nm至7nm先進(jìn)制程芯片的制造，但是目前也有被業(yè)界廣泛應(yīng)用在45nm及以下的成熟制程當(dāng)中。ASML公司...
2023-04-18 12:39:37 -
EUV光刻機(jī)也賣不動(dòng)了 臺(tái)積電40%訂單被砍
...光刻機(jī)也賣不動(dòng)了，臺(tái)積電被曝砍單40%訂單。EUV光刻機(jī)是7nm以下工藝必不可少的核心設(shè)備，全球只有荷蘭ASML公司能夠生產(chǎn)，售價(jià)高達(dá)10億，下一代EUV光刻機(jī)會(huì)更會(huì)漲價(jià)到2...
2023-04-18 12:33:37 -
別再只盯著光刻機(jī)了!自動(dòng)化測(cè)試對(duì)于芯片制造同樣重要
...光刻機(jī)在芯片領(lǐng)域當(dāng)然獨(dú)占鰲頭，但一顆芯片的成功不只取決于光刻部分，測(cè)試對(duì)芯片的質(zhì)量更有不容忽視的意義。不論是更小尺寸的芯片，還是時(shí)下火熱的chiplet方式的芯片，都對(duì)于芯片...
2023-04-12 16:06:19 -
ASML高端DUV光刻機(jī)可以出口：支持7nm
...光刻機(jī)，屬于193nm(光源)光刻機(jī)(分為干式和浸沒式)，可以被用于16nm至7nm先進(jìn)制程芯片的制造，但是目前也有被業(yè)界廣泛應(yīng)用在45nm及以下的成熟制程當(dāng)中。ASML公司...
2023-03-10 11:13:26 -
ASML回應(yīng)荷蘭半導(dǎo)體出口管制新規(guī)：涉及DUV光刻機(jī)
...光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)發(fā)布聲明表示，ASML預(yù)計(jì)必須申請(qǐng)?jiān)S可證方可出口DUV設(shè)備。同時(shí)公司還表示“新的出口管制措施并不針對(duì)所有浸潤(rùn)式光刻系統(tǒng)，先進(jìn)程度相對(duì)較低的浸潤(rùn)式光...
2023-03-09 13:23:59 -
全球只有5家客戶 ASML今年將出貨60臺(tái)EUV光刻機(jī)
...光刻機(jī)的需求也不斷增長(zhǎng)，目前全球只有ASML一家公司能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)，今年的出貨量還會(huì)進(jìn)一步提升。當(dāng)然，EUV這樣的光刻機(jī)主要用于先進(jìn)工藝，所以全球有需求也有能力購(gòu)買EU...
2023-02-22 12:57:58 -
一場(chǎng)“國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)”的奇葩說
...光刻機(jī)到底牛不?！钡霓q題，那到底會(huì)是怎樣的場(chǎng)景和結(jié)局.辯題背景：中科院光電所超分辨光刻裝備項(xiàng)目組經(jīng)過近7年艱苦攻關(guān)，突破了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)，完成國(guó)際上首臺(tái)分辨力最高的紫外超分辨光...
2022-12-29 15:22:37 -
生產(chǎn)最新12nm芯片，三星逆勢(shì)計(jì)劃新增10臺(tái)EUV光刻機(jī)
...光刻機(jī)，用于生產(chǎn)最新的12nm級(jí)內(nèi)存芯片。三星在韓國(guó)的內(nèi)存工廠主要是位于平澤市的晶圓廠，其中P3晶圓廠目前的產(chǎn)能是每月2萬片晶圓，三星已經(jīng)計(jì)劃擴(kuò)大投資，增加內(nèi)存生產(chǎn)設(shè)備，將產(chǎn)...
2022-12-27 12:24:54 -
日本研發(fā)新一代光刻機(jī),佳能3.6億美元東京建廠
...光刻機(jī)，還將用于增加納米壓印光刻(NIL)機(jī)的產(chǎn)量。計(jì)劃于2025年開始運(yùn)營(yíng)。KrF和i-line光刻是成熟的技術(shù)，但它們?nèi)员粡V泛用于定義眾多IC類型、MEMS和平板顯示器。...
2022-12-13 11:21:50 -
高端市場(chǎng)要變天?佳能宣布發(fā)售新一代i線步進(jìn)式光刻機(jī)
...光刻機(jī)新產(chǎn)品——i線步進(jìn)式光刻機(jī)“FPA-5520iVLF2Option”。據(jù)了解，在半導(dǎo)體芯片的制造工藝中，光刻機(jī)負(fù)責(zé)“曝光”電路圖案。在曝光的一系列工藝中，在硅晶圓上制造...
2022-12-08 10:51:12 -
ASML新EUV光刻機(jī)驚人天價(jià)，年產(chǎn)能20臺(tái)左右
...光刻機(jī)high-NAEUV設(shè)備，而高NAEUV光刻機(jī)系統(tǒng)的單臺(tái)造價(jià)將在25億元(單臺(tái)造價(jià)在3億到3.5億歐元之間，約合人民幣21.95到25.61億元)。這個(gè)價(jià)格什么概念，資...
2022-11-28 11:02:15 -
首臺(tái)ASML光刻機(jī)搬入！中國(guó)再添一座12英寸車規(guī)級(jí)晶圓廠
...光刻機(jī)制造商阿斯麥（ASML）禁止向我國(guó)出售14nm及以下工藝的DUV光刻機(jī)，還一直試圖要求該公司禁止對(duì)華銷售部分舊款光刻機(jī)，以及所有制造芯片所需的主流技術(shù)。要知道，目前全球...
2022-11-28 09:32:34 -
禁止向中國(guó)出口光刻機(jī)！華盛頓談判施壓荷蘭，首相表態(tài)
...光刻機(jī)貿(mào)易就受到了一些限制，但近日華盛頓當(dāng)局將從光刻機(jī)領(lǐng)域?qū)で髮?duì)華的進(jìn)一步技術(shù)封鎖。我們之前在《多次反對(duì)芯片制裁，ASML直接無視美國(guó)和中國(guó)合作》一文中介紹了目前ASML和中...
2022-11-07 12:03:47 -
俄羅斯放狠話：自研7nm光刻機(jī)將于2028年問世！
...光刻機(jī)將于2028年問世，不僅能夠生產(chǎn)出7nm芯片，還可以擊敗ASML同類產(chǎn)品”。根據(jù)俄羅斯下諾夫哥羅德策略發(fā)展機(jī)構(gòu)的一份公文顯示，該計(jì)劃將在6年內(nèi)分為三個(gè)階段實(shí)現(xiàn)：●第一階...
2022-10-24 19:30:29 -
無需EUV光刻機(jī) 我國(guó)首條光子芯片產(chǎn)線明年建成：1000倍性能提升
...光刻機(jī)，比如EUV光刻機(jī)，因此是各國(guó)爭(zhēng)相發(fā)展的新一代信息科技。來自《北京日?qǐng)?bào)》的消息，記者從中科鑫通獲悉，國(guó)內(nèi)首條“多材料、跨尺寸”的光子芯片生產(chǎn)線已...
2022-10-18 14:11:53 -
消費(fèi)電子砍單潮，臺(tái)積電將關(guān)閉4臺(tái)EUV光刻機(jī)！臺(tái)積電：維護(hù)而已
...光刻機(jī)來減少產(chǎn)能。上周，產(chǎn)業(yè)鏈的消息人士@手機(jī)晶片達(dá)人就爆料稱，由于臺(tái)積電先進(jìn)制程產(chǎn)能利用率開始下滑，且評(píng)估之后下滑時(shí)間會(huì)持續(xù)一段周期，因此，臺(tái)積電計(jì)劃從今年年底開始，將關(guān)閉...
2022-09-25 09:00:01 -
我國(guó)首獲納米級(jí)光雕刻三維結(jié)構(gòu)：沒有EUV光刻機(jī)，一樣量產(chǎn)7nm芯片！
...光刻機(jī)，甚至還將魔抓伸向了華裔科學(xué)家。然而，面對(duì)這些“卡脖子”技術(shù)問題，中國(guó)不僅沒有選擇屈服，反而走出了一條自己獨(dú)特的發(fā)展之路。這不，剛剛國(guó)內(nèi)自主芯片產(chǎn)業(yè)就傳來一個(gè)好消息：9...
2022-09-16 16:39:03