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[導讀]據海外媒體消息,臺積電的光刻機供貨商Mapper公司已將300mm光刻設備交貨日延期近三個月之久。Mapper的多束電子束(e-beam)光刻機原計劃于今年第一季度裝備臺積電300m m工廠,但由于技術上的原因Mapper公司拖延了交貨

據海外媒體消息,臺積電光刻機供貨商Mapper公司已將300mm光刻設備交貨日延期近三個月之久。Mapper的多束電子束(e-beam)光刻機原計劃于今年第一季度裝備臺積電300m m工廠,但由于技術上的原因Mapper公司拖延了交貨日期,此舉可能對臺積電的制程研發(fā)進度造成一定的影響。

據了解,臺積電CEO蔡力行曾稱臺積電已在與合作伙伴聯合開發(fā)22nm及更高規(guī)格制程用多束e-beam光刻技術,以便公司盡早實現向32nm制程的轉換。

據悉,2008年十月份,臺積電與Mapper公司簽署了一份供貨協議,根據這份協議,Mapper將為臺積電制造30 0mm多束e-beam光刻設備用于制程開發(fā),并為該公司提供光刻原型機。

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