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[導(dǎo)讀]領(lǐng)先的MEMS設(shè)計(jì)供應(yīng)商Coventor和納電子研究中心imec共同宣布戰(zhàn)略合作,以改善和拓展CMOS和MEMS集成技術(shù)的設(shè)計(jì)與制造。合作將包括雙方研發(fā)路線的統(tǒng)一,及研究?jī)?nèi)容的互補(bǔ)。雙方將共同為imec的SiGe MEMS-above-IC工藝開(kāi)

領(lǐng)先的MEMS設(shè)計(jì)供應(yīng)商Coventor和納電子研究中心imec共同宣布戰(zhàn)略合作,以改善和拓展CMOSMEMS集成技術(shù)的設(shè)計(jì)與制造。合作將包括雙方研發(fā)路線的統(tǒng)一,及研究?jī)?nèi)容的互補(bǔ)。雙方將共同為imec的SiGe MEMS-above-IC工藝開(kāi)發(fā)工藝設(shè)計(jì)包。

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