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科學(xué)家研制出可自我校準(zhǔn)的微機(jī)電系統(tǒng)

時(shí)間：2010-08-16 17:23:00

關(guān)鍵字：微機(jī)電系統(tǒng) BSP 器件電子

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[導(dǎo)讀]微機(jī)電系統(tǒng)在未來的高科技領(lǐng)域有很大的應(yīng)用潛力，但目前它們也有一個(gè)難以克服的缺陷，那就是計(jì)量結(jié)果不夠精確，彼此之間存在偏差。據(jù)《大眾科學(xué)》雜志網(wǎng)站8月10日?qǐng)?bào)道，美國(guó)普渡大學(xué)的研究人員現(xiàn)已找到了一種方法，

微機(jī)電系統(tǒng)在未來的高科技領(lǐng)域有很大的應(yīng)用潛力，但目前它們也有一個(gè)難以克服的缺陷，那就是計(jì)量結(jié)果不夠精確，彼此之間存在偏差。據(jù)《大眾科學(xué)》雜志網(wǎng)站8月10日?qǐng)?bào)道，美國(guó)普渡大學(xué)的研究人員現(xiàn)已找到了一種方法，可以讓微機(jī)電系統(tǒng)進(jìn)行自我校準(zhǔn)，這一研究成果有望打開研發(fā)各類超高精度的傳感器和設(shè)備的大門，可在醫(yī)學(xué)、工程以及國(guó)防領(lǐng)域發(fā)揮作用。

微機(jī)電系統(tǒng)的尺寸不到十億分之一米，在如此微小的尺度上制造這種設(shè)備難免會(huì)存在誤差，要保證生產(chǎn)出的微機(jī)電系統(tǒng)完全一致是不太可能的。既然沒有可靠的方法來制造兩個(gè)一模一樣的微機(jī)電系統(tǒng)，就必須采用一些校準(zhǔn)手段來盡量避免或者減小它們?cè)谟?jì)量時(shí)彼此之間的誤差。然而，要想在這種微觀尺度上進(jìn)行距離或者力的測(cè)量同樣非常困難，因此，到目前為止，還沒有確定一套標(biāo)準(zhǔn)來校準(zhǔn)兩個(gè)微機(jī)電系統(tǒng)的功能，以使它們的性能和計(jì)量方式完全一樣。

而普渡大學(xué)開發(fā)的這項(xiàng)被稱為微電計(jì)量的新技術(shù)，可幫助工程師確定施加于微機(jī)電系統(tǒng)器件上的力的大小。微電計(jì)量技術(shù)通過測(cè)量微機(jī)電系統(tǒng)的電子特性來定義其機(jī)械特性，因?yàn)樵谶@樣的微觀尺度上，電子特性比物理力更易測(cè)量。一旦獲得了微機(jī)電系統(tǒng)器件的電容數(shù)據(jù)，研究人員就能精確計(jì)算出其形狀、硬度和受力大小。

更準(zhǔn)確地說，可自我校準(zhǔn)的微機(jī)電系統(tǒng)意味著性能更優(yōu)、更便宜的原子力顯微鏡，能夠開展更有效的生物技術(shù)和納米技術(shù)研究的高功率實(shí)驗(yàn)室工具，可嗅探出化學(xué)威脅的超靈敏傳感器，甚至可用于追蹤或確定犯罪嫌疑人的超靈敏“芯片鼻”。

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