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任何人可輕松獲得再現(xiàn)性較高的數(shù)據(jù),日本電子將上市FIB裝置

時(shí)間：2010-12-01 03:45:00

關(guān)鍵字：電子電壓離子電流

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[導(dǎo)讀]日本電子（JEOL）開(kāi)發(fā)出了離子束聚焦（FIB）加工觀察裝置“JIB-4000”。將在2010年12月舉行的“SEMICON Japan 2010”上展出，同時(shí)開(kāi)始銷售。據(jù)日本電子介紹，此次的裝置是為了滿足讓任何人均可輕松獲得再現(xiàn)性較

日本電子（JEOL）開(kāi)發(fā)出了離子束聚焦（FIB）加工觀察裝置“JIB-4000”。將在2010年12月舉行的“SEMICON Japan 2010”上展出，同時(shí)開(kāi)始銷售。

據(jù)日本電子介紹，此次的裝置是為了滿足讓任何人均可輕松獲得再現(xiàn)性較高的數(shù)據(jù)這一要求而開(kāi)發(fā)的。該公司介紹了裝置的特點(diǎn)：加工方面，可利用大電流離子束更快更精細(xì)地加工樣品，通過(guò)利用低加速電壓加工，可降低加工時(shí)的樣品損傷。操作性方面，配備了各操作員均可登錄或退出的管理軟件。此外，還列舉了采用省空間設(shè)計(jì)、配備節(jié)能模式及配備氣體注入系統(tǒng)（gas injection system）等特點(diǎn)。主要的性能參數(shù)方面，離子源采用了液體金屬鎵（Ga），保證分辨率為5nm（加速電壓為30kV時(shí)），最大束電流為60nA（加速電壓為30kV時(shí)），加速電壓為1～30kV，樣品通過(guò)5軸馬達(dá)工作臺(tái)移動(dòng)。該裝置的標(biāo)準(zhǔn)價(jià)格為4600萬(wàn)日元以上。（記者：長(zhǎng)廣恭明）

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