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老機臺+新技術(shù) IC進軍22奈米制程

時間：2010-11-18 06:44:00

關(guān)鍵字： IC 半導(dǎo)體電子制程技術(shù)

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[導(dǎo)讀]「我們用新的技術(shù)讓ＬＫＫ的機臺，達到最先進的制程技術(shù)效能！」清華大學(xué)材料科學(xué)工程系助理教授闕郁倫領(lǐng)導(dǎo)研究團隊，參與臺美跨國合作計劃，領(lǐng)先全球成功把化合物半導(dǎo)體整合于現(xiàn)階段硅晶圓制程技術(shù)，利用二百奈米骨

「我們用新的技術(shù)讓ＬＫＫ的機臺，達到最先進的制程技術(shù)效能！」清華大學(xué)材料科學(xué)工程系助理教授闕郁倫領(lǐng)導(dǎo)研究團隊，參與臺美跨國合作計劃，領(lǐng)先全球成功把化合物半導(dǎo)體整合于現(xiàn)階段硅晶圓制程技術(shù)，利用二百奈米骨董級機臺，將現(xiàn)有半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)從四十奈米推進到仍處于先期研究的廿二奈米制程。

清華大學(xué)校長陳力俊推崇闕郁倫，「闕教授是由清大材料系從大學(xué)部到博士班培育的本土教授。闕教授做研究很有創(chuàng)意，是清大材料系創(chuàng)立廿幾年來，第一次聘請系上畢業(yè)的學(xué)生當教授?！顾畈┦堪鄷r，獲國科會「千里馬計劃」補助，到美國喬治亞理工學(xué)院進修；取得博士學(xué)位后，又到加州大學(xué)柏克萊分校做研究。

清華大學(xué)研發(fā)長果尚志強調(diào)，這項研究最大突破是將兩種不同材料結(jié)合在一起，用非常簡單和便宜的方法，把化合物半導(dǎo)體（砷化銦）轉(zhuǎn)移到硅基基板上，取代傳統(tǒng)的硅晶圓。闕郁倫指出，硅基半導(dǎo)利用電子傳輸，化合物半導(dǎo)體則是利用光子傳輸，速率比電子快一百倍以上，「各種三Ｃ產(chǎn)品未來若利用我們研發(fā)的高效能光電半導(dǎo)體當材料，不但指令周期提高，儲存容量明顯提升，制程簡單，成本大幅降低?！?

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