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[導(dǎo)讀]臺(tái)積電(TSMC)宣布,過去幾個(gè)月來,該公司與MAPPER公司的工程師們一同在晶圓十二廠中將電子束直寫能力整合至制程中,目前,MAPPER公司安裝在臺(tái)積電晶圓十二廠超大晶圓廠的原型機(jī)臺(tái)正不斷地重復(fù)寫出超威小電路組件,


臺(tái)積電(TSMC)宣布,過去幾個(gè)月來,該公司與MAPPER公司的工程師們一同在晶圓十二廠中將電子束直寫能力整合至制程中,目前,MAPPER公司安裝在臺(tái)積電晶圓十二廠超大晶圓廠的原型機(jī)臺(tái)正不斷地重復(fù)寫出超威小電路組件,而這是先前使用浸潤式微影技術(shù)所無法達(dá)到的成果。
Mapper公司是集成電路微影設(shè)備制造業(yè)者,由于不需要運(yùn)用到光罩,同時(shí)也在超高分辨率下提供足夠高的晶圓生產(chǎn)量(throughput),MAPPER公司所開發(fā)的微影設(shè)備可望大幅降低未來世代集成電路制造成本。MAPPER公司的微影技術(shù)運(yùn)用大量平行的電子束,來使高分辨率的電子束能達(dá)到超高的晶圓生產(chǎn)量。

當(dāng)前的微影設(shè)備系采用光學(xué)顯影方式,在晶圓上產(chǎn)生比人類頭發(fā)直徑還要細(xì)一百倍以上的精細(xì)電路圖像。在這樣的過程中,需要運(yùn)用到印有芯片電路藍(lán)圖的光罩,再將此電路藍(lán)圖成像到涂布有感光層的晶圓之上(與沖洗照片時(shí),利用相紙上的感光層從底片成像的步驟相似)。然而,這樣的光學(xué)顯影方式在下一世代集成電路制造上,面臨了成本急遽上揚(yáng)以及分辨率極限的雙重考驗(yàn)。

此次臺(tái)積電與MAPPER的開發(fā)成果將提供給未來更先進(jìn)的技術(shù)世代使用。臺(tái)積電研究發(fā)展資深副總經(jīng)理蔣尚義表示,使用MAPPER公司機(jī)臺(tái)所得到的成果,是多重電子束直寫入項(xiàng)目中的一項(xiàng)重大成就,此項(xiàng)目涵括所有可行的多重電子束技術(shù)。這些成果讓我們相信多重電子束技術(shù)是未來微影技術(shù)的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)之一。

MAPPER公司總執(zhí)行長Christopher Hegarty表示,臺(tái)積電是其機(jī)臺(tái)初始發(fā)表的客戶。目前MAPPER已經(jīng)有原型機(jī)臺(tái)在臺(tái)積電進(jìn)行試用,未來,電子束直寫入技術(shù)將能成功地應(yīng)用在量產(chǎn)的制程上。



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