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[導(dǎo)讀]據(jù)日經(jīng)BP社報道,透明非結(jié)晶氧化物半導(dǎo)體(TAOS)作為“后非結(jié)晶硅(Post Amorphous Si)”備受期待。使用TAOS的氧化物半導(dǎo)體TFT顯示器究竟能否成為現(xiàn)實?在2月23日舉行的“FPD International 2009預(yù)備研討會”上,非

據(jù)日經(jīng)BP社報道,透明非結(jié)晶氧化物半導(dǎo)體(TAOS)作為“后非結(jié)晶硅(Post Amorphous Si)”備受期待。使用TAOS的氧化物半導(dǎo)體TFT顯示器究竟能否成為現(xiàn)實?在2月23日舉行的“FPD International 2009預(yù)備研討會”上,非結(jié)晶IGZO(In、Ga、Zn、O)發(fā)明人——東京工業(yè)大學(xué)教授細野秀雄與與會者進行了交流。

        與非結(jié)晶硅相比,TAOS能夠通過大量電流,因此業(yè)界最初考慮將其應(yīng)用于作為電流驅(qū)動裝置的有機EL顯示器所使用的底板中。不過,有機EL顯示器要達到實用水平,“與當(dāng)初的設(shè)想相比,還需等上更長的時間”(細野)。細野表示,除了有機EL以外,TAOS還有望實現(xiàn)其他應(yīng)用。

        細野列舉了兩例充分利用TAOS特點的顯示器應(yīng)用實例。一是在彩色電子紙領(lǐng)域中的應(yīng)用。使用TAOS,便可在彩色濾光片上直接形成TFT陣列,省去使彩色濾光片與TFT對準位置的麻煩。凸版印刷正在開發(fā)采用這一概念的彩色電子紙。

        另一個是在液晶顯示中的應(yīng)用。液晶顯示屏支持120Hz驅(qū)動及240Hz驅(qū)動已經(jīng)成為必備條件,并且朝著超越全高清向4K×2K及8K×4K的多像素化發(fā)展,這時100英寸級大屏幕液晶再由非結(jié)晶Si-TFT來驅(qū)動就會變得很困難。此時TAOS就派上了用場。而且,與非結(jié)晶硅不同,因堿離子混入而影響特性的情況較少,因此可使用廉價的鈉鈣玻璃作為底板材料。至于鈉鈣玻璃的熱收縮問題,使用在彩色濾光片上直接形成TFT陣列的上述技術(shù)即可避免。

        盡管有如此豐富的應(yīng)用提案,但Oana咨詢公司的小穴保久根據(jù)其在非結(jié)晶硅TFT液晶技術(shù)等領(lǐng)域的經(jīng)驗指出,“要培育TAOS并使之取得飛躍,還有一些事情必須要做”。“在材料、裝置乃至應(yīng)用領(lǐng)域,建立起包括產(chǎn)官學(xué)在內(nèi)的雄厚基礎(chǔ),形成合作機制將十分重要”(小穴)。因此,小穴指出,“說到使用TAOS的產(chǎn)品這一‘夢想’,眼下要意識到的是將所有領(lǐng)域的研究人員吸引到這一看似不賺錢的市場中來”。
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