[導讀]據日經BP社報道，日本信越化學工業(yè)開發(fā)出了用于微接觸印刷模版和MEMS模具的PDMS（聚二甲基硅氧烷）硅橡膠。在MEMS制造中，將用作形成μ-TAS流路和微細樹脂結構的模具。
微接觸印刷是亞微米級微細圖案的大面積印刷
據日經BP社報道，日本信越化學工業(yè)開發(fā)出了用于微接觸印刷模版和MEMS模具的PDMS（聚二甲基硅氧烷）硅橡膠。在MEMS制造中，將用作形成μ-TAS流路和微細樹脂結構的模具。
微接觸印刷是亞微米級微細圖案的大面積印刷技術，是實現(xiàn)利用印刷技術制造電子元件的“可印刷電子(Printable Electronics)”的技術之一。通過把利用光刻制成的硅或石英制原版的圖案轉印到PDMS等硅橡膠上，制成印刷模版使用。只需將硅橡膠上圖案凸起部位的油墨印刷到薄膜上，即可形成納米圖案。
此次的硅橡膠是受新能源產業(yè)技術開發(fā)機構（NEDO）的委托，作為“超柔軟顯示屏構件技術開發(fā)”項目的一環(huán)，由化學技術戰(zhàn)略機構與產業(yè)技術綜合研究所合作開發(fā)的。該產品不僅可以忠實地再現(xiàn)及轉印原版圖案，作為印刷材料也具有良好的適用性。另外，通過將雜質控制到最小限度，還實現(xiàn)了防帶電功能。
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