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IC表面可進(jìn)行傳感？ChipSensors展示IC“電介質(zhì)傳感器”技術(shù)

時(shí)間：2007-09-27 09:40:34

關(guān)鍵字： IC CHIP 傳感器 SENSORS

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[導(dǎo)讀]無晶圓芯片公司ChipSensors聲稱已研制出一種新技術(shù)允許IC的表面進(jìn)行溫度，濕度，某些氣體和微生物的傳感。該專利技術(shù)利用了在標(biāo)準(zhǔn)的亞微米CMOS制程中采用了低K層介質(zhì)材料作為金屬連線間的絕緣體。這種材料是多孔的，

無晶圓芯片公司ChipSensors聲稱已研制出一種新技術(shù)允許IC的表面進(jìn)行溫度，濕度，某些氣體和微生物的傳感。

該專利技術(shù)利用了在標(biāo)準(zhǔn)的亞微米CMOS制程中采用了低K層介質(zhì)材料作為金屬連線間的絕緣體。這種材料是多孔的，通過被感應(yīng)的介質(zhì)的選擇性滲透和阻塞進(jìn)入，材料的介電常數(shù)發(fā)生變化，形成傳感器。

通常IC的表面是被環(huán)境條件所影響，相似的，低K層介質(zhì)材料的氣孔是進(jìn)行表面處理的。然而，ChipSensors指出通過讓環(huán)境影響特定的區(qū)域?qū)е码娞匦钥梢酝嗥想娐繁粶?zhǔn)確檢測到。

該技術(shù)同時(shí)還可以讓單芯片的無線傳感器通過無線電路在相同的芯片上傳輸測量信號。目前，該公司的基于芯片的傳感器和無芯片的無線連接到膝上電腦進(jìn)行實(shí)時(shí)測量的演示。

潮氣的侵入通常被認(rèn)為是決定IC長期穩(wěn)定性的因素。ChipSensors在用之前沒有考慮是否需要防止環(huán)境影響而進(jìn)行封裝，或者是它的傳感器壽命的長度。

該公司演示了在130納米CMOS制程中的IC制造技術(shù)，并表示該技術(shù)可以作為一種在管理建立和環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)中替代電機(jī)恒溫器和濕度器的一種全電子化器件。ChipSensors現(xiàn)今也開發(fā)出這種傳感器超低能耗無線版本——可以整合所有的信號情況，微控制器，存儲器等等作為傳感器在同一芯片上。

ChipSensors在2006年成立，專于無線傳感器產(chǎn)品，第一個(gè)傳感器原型開發(fā)在0.18微米和0.13微米上。

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