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我國首臺12英寸單晶爐研制成功

時間：2007-06-12 10:23:34

關鍵字：單晶 BSP 超大規(guī)模集成電路晶體

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[導讀]據科技日報報道，近日，國家863計劃項目“超大規(guī)模集成電路配套材料”重大專項中的“TDR－150型單晶爐（12英寸MCZ綜合系統(tǒng)）”項目在北京正式通過科技部的驗收，這標志著擁有自主知識產權和核心技術的大尺寸集成電路

據科技日報報道，近日，國家863計劃項目“超大規(guī)模集成電路配套材料”重大專項中的“TDR－150型單晶爐（12英寸MCZ綜合系統(tǒng)）”項目在北京正式通過科技部的驗收，這標志著擁有自主知識產權和核心技術的大尺寸集成電路與太陽能用單晶硅生長設備，在我國首次研制成功。

單晶爐是直拉法制備硅單晶的關鍵技術裝備，所制備的硅單晶主要用于集成電路元件和太陽能電池。在我國，以單晶爐為代表的晶體生長設備一直存在核心技術不足的問題，高端產品均為國外公司所壟斷，在很大程度上制約了我國超大規(guī)模集成電路和太陽能產業(yè)的發(fā)展。西安理工大學與北京有色金屬研究院從2003年起承擔“TDR－150型單晶爐（12英寸MCZ綜合系統(tǒng)）”課題的研究和攻關任務，課題組組織多學科技術骨干，形成穩(wěn)定的攻關團隊，堅持走自主創(chuàng)新、集成創(chuàng)新的道路，經過三年多的攻關，取得了一系列創(chuàng)新性成果和關鍵技術。所研制的樣機由課題組自主攻關、設計和加工，關鍵部件和樣機達到了較高的技術水平，已成功拉制出12英寸無位錯合格單晶。通過項目的實施，課題組還建立了高端晶體生長設備的研發(fā)平臺，達到了積累經驗、獲取成果、培養(yǎng)隊伍的目的。

驗收會上，專家們認為該成果的取得填補了國內空白，標志著我國超大規(guī)模集成電路和太陽能產業(yè)的關鍵技術裝備的生產邁上了一個新臺階，對我國超大規(guī)模集成電路及相關產業(yè)的發(fā)展具有重要的意義。

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