芯片制造行業(yè)對(duì)成本極其敏感是不爭的事實(shí)。Norcimbus作為無顆粒高純度氣體設(shè)備以及自動(dòng)化的領(lǐng)軍企業(yè)，為全球的半導(dǎo)體以及太陽能制造企業(yè)供應(yīng)NBlend多種流量氣體攪拌設(shè)備。“NBlend攪拌設(shè)備體現(xiàn)了半導(dǎo)體以及相關(guān)的制造工藝實(shí)現(xiàn)材料傳輸?shù)闹饕兏铩?rdquo; Norcimbus的總裁John Wheeler說，“處理控制的進(jìn)步使大規(guī)模的氣體混合成為現(xiàn)實(shí)，給現(xiàn)有的技術(shù)注入了新的生命，并且提供給生產(chǎn)者一個(gè)盈利以及持續(xù)節(jié)約開支的快速通道。”

NBlend攪拌設(shè)備可以使制造商避免使用特殊氣體鋼瓶，而是使用廠房內(nèi)現(xiàn)有的大宗氣體供應(yīng)基礎(chǔ)設(shè)施通過在室內(nèi)攪拌本身的特殊氣體而實(shí)現(xiàn)大規(guī)模降低花費(fèi)的目的。此設(shè)備可以在最少60天內(nèi)實(shí)現(xiàn)投資回報(bào)率(ROI)。Norcimbus NBlend設(shè)備通過系統(tǒng)的閉合環(huán)路回饋以及分析功能可以體現(xiàn)技術(shù)中很多的優(yōu)勢(shì)。這些可以使設(shè)備保持?jǐn)嚢铓怏w的極其精準(zhǔn)的參數(shù)，精確比率為正負(fù)0.3%。當(dāng)MFC為基礎(chǔ)的設(shè)備必須按照設(shè)定的流量率進(jìn)行攪拌時(shí)，結(jié)果是對(duì)排出氣體進(jìn)行通風(fēng)，NBlend設(shè)備可以衡量真實(shí)的攪拌并且實(shí)時(shí)運(yùn)行攪拌，使氣體可以按照需要進(jìn)行傳輸并減少了資源的浪費(fèi)。

“半導(dǎo)體制造行業(yè)正在積極尋求降低成本的技術(shù)領(lǐng)域，而我們對(duì)于氣體傳輸?shù)呐χ苯舆_(dá)成了這個(gè)目標(biāo)，同時(shí)也能夠保證關(guān)鍵性制程所需要?dú)怏w的純凈度和連續(xù)性，”John Wheeler說，“最基本的是NBlend設(shè)備可以實(shí)現(xiàn)快速的投資回報(bào)率，根據(jù)生產(chǎn)需要通常是在六個(gè)月內(nèi)實(shí)現(xiàn)，同時(shí)可以最大程度減少浪費(fèi)，以及丟棄廢棄氣體對(duì)環(huán)境造成的影響。”

Norcimbus的NBlend設(shè)備通過整合MFC攪拌設(shè)備、緩沖罐，集中分析儀以及擁有專利技術(shù)的PPV控制器拓展了現(xiàn)有的氣體攪拌工藝。設(shè)備的設(shè)計(jì)可以攪拌兩種氣體到可調(diào)整的比率,同時(shí)供應(yīng)達(dá)到250slpm的可變的持續(xù)流量，集中分析儀同時(shí)監(jiān)測(cè)并且調(diào)整攪拌比率以維持集中定點(diǎn)。設(shè)備可以提供所要求比率正負(fù)0.3%的控制精確性，允許其通過可變的流量率以及可調(diào)整的混合比率來傳輸持續(xù)的結(jié)果。

“成本控制是制造商們關(guān)注的重點(diǎn)之一，Norcimbus為半導(dǎo)體、太陽能、TFT/LCD、MEMS、LED、納米技術(shù)等提供氣體櫥柜，各種特定流量氣體攪拌機(jī)，來滿足他們特定的需要。”John Wheeler說，“目前已有不少foundry采用了我們的產(chǎn)品。未來我們也會(huì)積極將產(chǎn)品推廣到高校和科研院所，希望在研發(fā)階段就能夠參與其中。”