LED半導體照明網(wǎng)訊 最近華燦光電公告明確表示，“采用國產(chǎn)MOCVD設備開發(fā)/產(chǎn)業(yè)化超高亮度LED”項目，已于近日接到國家工信部項目立項通知，獲批補貼款600萬元，專用于項目所需的設備或材料的購置等，目前該款項已到賬。同時在日前召開的國際半導體論壇之材料與裝備技術分會上無論是中科宏微、還是廣東昭信，或是中微半導體，三家對MOCVD設備志在必得的開發(fā)投產(chǎn)之勢，顯然讓國際廠商倍具緊迫感。

國產(chǎn)MOCVD高調(diào)入市

眾所周知，MOCVD是芯片的關鍵設備，是整個LED產(chǎn)業(yè)鏈中最關鍵的制造裝備。一臺進口MOCVD設備的售價目前約為1500萬元，其成本占整個芯片設備成本的50%左右。由于技術含量高，制造工藝復雜，目前全球的MOCVD設備市場主要被兩家國外設備供應商AIXTRON和VEECO所壟斷。

在中國LED產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展的推動下，維易科和愛思強在中國市場可謂賺得盤滿缽滿。“90%的市場份額都在他們手上，這對國內(nèi)LED產(chǎn)業(yè)發(fā)展來說是極其不合理的現(xiàn)象。”中晟光電董事長陳愛華在接受記者采訪時表示，中國MOCVD設備占據(jù)全球市場約60%，MOCVD設備又占據(jù)LED外延芯片成本40%~50%，國產(chǎn)化MOCVD應用與市場對整個LED產(chǎn)業(yè)鏈都是極大利好。

從2011年開始，國內(nèi)多家LED設備企業(yè)開始嘗試推出國產(chǎn)化MOCVD設備。據(jù)中國LED產(chǎn)業(yè)研究中心國內(nèi)大概已有13家企業(yè)涉足MOCVD設備的研發(fā)。并且在2012年年末的時候接二連三的傳來國產(chǎn)MOCVD試制成功的好消息，足見國產(chǎn)MOCVD在2012年末2013年年初似快刀斬亂麻，勢如破竹之勢發(fā)展，這將意味著我國將打破國外壟斷的這種局面，給國產(chǎn)設備增加信心。

國產(chǎn)MOCVD進程

“我們的愿望是向市場提供MOCVD傻瓜機，客戶只要第一次了解設備如何使用，今后按照設定好的程序就能比較輕松地完成設備的使用，并實現(xiàn)了從生產(chǎn)到制造的完全標準化和100%國產(chǎn)化。”廣東昭信半導體裝備制造有限公司技術代表甘志銀在論壇上自信十足的表示，“我們在研發(fā)過程采取了全程仿真設計，2005年開始研發(fā)，2009年投資試產(chǎn)，流程循環(huán)也已進行完畢，包括備受關注的溫度如何保持穩(wěn)定性和均勻性，都將在12月底徹底完成，他還表示，“現(xiàn)在共有五臺新一代MOCVD設備正在裝配生產(chǎn)。”

11月12日，華燦光電公告稱，此前申報的“采用國產(chǎn)MOCVD設備開發(fā)/產(chǎn)業(yè)化超高亮度LED”項目已獲工信部批準立項，并獲得600萬元補貼用于項目所需的設備或材料的購置等。該項目由天龍光電孫公司中晟光電配合實施。這無疑給國產(chǎn)MOCVD諸如強心劑，之前即便是有用國產(chǎn)MOCVD的芯片企業(yè)也不愿意講出自己使用的是國產(chǎn)設備。此次華燦光電高調(diào)公告也是國產(chǎn)MOCVD入市的宣言。

作為該項目的合作方中晟光電的相關負責人表示，“我們已經(jīng)向華燦光電和圓融光電出售了幾臺設備，且正在同德豪潤達等客戶接洽，今年截至目前已實現(xiàn)6000萬元的銷售收入，明年的目標是1.5億元?！彼脖硎荆瑖a(chǎn)MOCVD設備搶占市場需要一個長期的過程。“首先是落到實處的政策支持太少，其次是市場信任和認可的培養(yǎng)要耗費大量的時間，再者，LED外延芯片企業(yè)生產(chǎn)工藝是基于現(xiàn)有設備設計的，引進新的國產(chǎn)設備勢必要做出這方面的改變，這本身也是一個風險?！?/p>