諾發(fā)VECTOR Extreme制定全新PECVD產(chǎn)量基準
諾發(fā)系統(tǒng)有限公司(Novellus Systems, Inc.)日前宣布推出VECTOR Extreme™等離子增強化學氣相沉積(PECVD)系統(tǒng) ，該系統(tǒng)每小時的產(chǎn)量高達250片晶圓，是業(yè)界最快的PECVD設(shè)備。與市場上的其它系統(tǒng)相比，VECTOR Extreme可使芯片制造商的平均生產(chǎn)周期縮短40%以上。另外，工廠的晶圓庫存也將顯著降低，使客戶能靈活應(yīng)對半導體市場不斷變化的需求。
消費電子與電腦產(chǎn)品對固態(tài)存儲器的需求不斷增加促使制造DRAM及NAND閃存器件工廠的產(chǎn)能迅速增加。由于典型存儲器件的制造過程需要二十多道PECVD工序，因此在這些業(yè)界一流的高產(chǎn)能存儲器工廠中，PECVD系統(tǒng)生產(chǎn)量已日益成為影響總體生產(chǎn)周期時間與晶圓庫存水平的重要因素。
諾發(fā)公司的VECTOR Extreme平臺通過將三個多站式順序處理模塊以及多達12個沉積站集成在一個中心晶圓傳送室上，實現(xiàn)了業(yè)界最高的PECVD生產(chǎn)量。當使用這種配置沉積存儲器件生產(chǎn)通常使用的較厚薄膜時，VECTOR Extreme可實現(xiàn)的生產(chǎn)量將是最接近競爭對手的兩倍以上。
“隨著存儲器工廠紛紛上線運行每月計劃晶圓產(chǎn)量超過100,000片的生產(chǎn)線，一個對系統(tǒng)生產(chǎn)量有特殊要求的全新PECVD細分市場已經(jīng)出現(xiàn)?！敝Z發(fā)公司電介質(zhì)事業(yè)部總經(jīng)理兼高級副總裁Tim Archer先生指出， “VECTOR Extreme吸引了這些超級晶圓廠的注意，因為該設(shè)備的生產(chǎn)量高，從而能夠減少總設(shè)備數(shù)，縮短工廠生產(chǎn)周期，從而有助于最小化晶圓庫存并降低最終產(chǎn)品成本?！?
諾發(fā)公司VECTOR系列的其它PECVD產(chǎn)品包括VECTOR Express™（于2007年3月推出）以及可實現(xiàn)可灰化硬掩膜(AHM)技術(shù)的VECTOR Express（于2007年6月推出）。VECTOR Express自推出以來迅速得到全球市場的認可，并已開始批量供貨。
批量生產(chǎn)的VECTOR Extreme預(yù)計將于2007下半年開始供貨。VECTOR Extreme實現(xiàn)了業(yè)界領(lǐng)先的生產(chǎn)量，同時還保持了諾發(fā)公司業(yè)經(jīng)生產(chǎn)驗證的VECTOR Express PECVD系統(tǒng)的工藝透明性。
消費電子與電腦產(chǎn)品對固態(tài)存儲器的需求不斷增加促使制造DRAM及NAND閃存器件工廠的產(chǎn)能迅速增加。由于典型存儲器件的制造過程需要二十多道PECVD工序，因此在這些業(yè)界一流的高產(chǎn)能存儲器工廠中，PECVD系統(tǒng)生產(chǎn)量已日益成為影響總體生產(chǎn)周期時間與晶圓庫存水平的重要因素。
諾發(fā)公司的VECTOR Extreme平臺通過將三個多站式順序處理模塊以及多達12個沉積站集成在一個中心晶圓傳送室上，實現(xiàn)了業(yè)界最高的PECVD生產(chǎn)量。當使用這種配置沉積存儲器件生產(chǎn)通常使用的較厚薄膜時，VECTOR Extreme可實現(xiàn)的生產(chǎn)量將是最接近競爭對手的兩倍以上。
“隨著存儲器工廠紛紛上線運行每月計劃晶圓產(chǎn)量超過100,000片的生產(chǎn)線，一個對系統(tǒng)生產(chǎn)量有特殊要求的全新PECVD細分市場已經(jīng)出現(xiàn)?！敝Z發(fā)公司電介質(zhì)事業(yè)部總經(jīng)理兼高級副總裁Tim Archer先生指出， “VECTOR Extreme吸引了這些超級晶圓廠的注意，因為該設(shè)備的生產(chǎn)量高，從而能夠減少總設(shè)備數(shù)，縮短工廠生產(chǎn)周期，從而有助于最小化晶圓庫存并降低最終產(chǎn)品成本?！?
諾發(fā)公司VECTOR系列的其它PECVD產(chǎn)品包括VECTOR Express™（于2007年3月推出）以及可實現(xiàn)可灰化硬掩膜(AHM)技術(shù)的VECTOR Express（于2007年6月推出）。VECTOR Express自推出以來迅速得到全球市場的認可，并已開始批量供貨。
批量生產(chǎn)的VECTOR Extreme預(yù)計將于2007下半年開始供貨。VECTOR Extreme實現(xiàn)了業(yè)界領(lǐng)先的生產(chǎn)量，同時還保持了諾發(fā)公司業(yè)經(jīng)生產(chǎn)驗證的VECTOR Express PECVD系統(tǒng)的工藝透明性。
下載文檔本站聲明： 本文章由作者或相關(guān)機構(gòu)授權(quán)發(fā)布，目的在于傳遞更多信息，并不代表本站贊同其觀點，本站亦不保證或承諾內(nèi)容真實性等。需要轉(zhuǎn)載請聯(lián)系該專欄作者，如若文章內(nèi)容侵犯您的權(quán)益，請及時聯(lián)系本站刪除。
換一批
延伸閱讀
要問機器人公司哪家強，波士頓動力絕對是其中的佼佼者。近來年該公司在機器人研發(fā)方面獲得的一些成果令人印象深刻，比如其開發(fā)的機器人會后空翻，自主爬樓梯等。這不，波士頓動力又發(fā)布了其機器人組團跳男團舞的新視頻，表演的機器人包括...
關(guān)鍵字： 機器人 BSP 工業(yè)機器人 現(xiàn)代汽車
熱門文章
- 一文搞懂脈沖寬度調(diào)制（PWM）原理、頻率與占空比
- 國產(chǎn)GPU第一股摩爾線程終于來了：12月5日上市 市值537億
- 1.2億天價罰單！全球第三大設(shè)備商因臺積電2nm泄密案被起訴
- 科技巨頭集體預(yù)警：內(nèi)存價格將大幅上漲！
- 基于PLC的焊點檢測隔離機的電控設(shè)計
- 盤點GET 和 POST請求的本質(zhì)區(qū)別
- CAN收發(fā)器
- CAN的數(shù)據(jù)幀
- 荷蘭安世仍未向中國供應(yīng)晶圓 全球汽車產(chǎn)線幾周內(nèi)或?qū)⑼．a(chǎn)
- 終止一切對華采購！美國汽車巨頭要求數(shù)千供應(yīng)商“斷華”！
編輯精選
更多
論壇活動
更多
論壇熱帖
- 【每周分享】程序員真的逃不過35歲被裁的坎嗎？
- 【每周分享】公司已經(jīng)裁掉我了，還在繼續(xù)安排大量工作給我，這合適嗎？
- 【每周分享】努力、運氣、選擇，哪一個更重要？
- CW32L012固件庫發(fā)現(xiàn)兩處問題
- CW32L011休眠模式 偶發(fā)無法喚醒
- gd32f4 中斷影響adc采樣怎么解決
- GD32F303定時器捕獲頻率出現(xiàn)問題
- 用PMOS做開關(guān)的電路，開關(guān)按下PMOS導通，電路為啥不行呢
- APM32F407備份SRAM VBAT測試避坑指南：從誤判到精準檢測
- 極海的APM32F425和APM32F427到底有什么區(qū)別？
技術(shù)子站
更多
資料下載
更多
技術(shù)學院
- TrendForce集邦咨詢: AI運算架構(gòu)升級推升存儲器市場產(chǎn)值有望于2027年再創(chuàng)高峰，預(yù)估年增率超過50%
- TrendForce集邦咨詢: 預(yù)估2026年全球AI 服務(wù)器出貨年增逾28%，ASIC類別占比擴大
- TrendForce集邦咨詢: 美光收購力積電銅鑼晶圓廠，2027年全球DRAM供給或?qū)⑸闲?/a>
- TrendForce集邦咨詢: 新機調(diào)價抑制銷售需求，2026年第二季度起智能手機生產(chǎn)承壓明顯
- 電動汽車電池管理系統(tǒng)原理
- 手把手教你如何解決MySQL order by limit語句的分頁數(shù)據(jù)重復問題
- 盤點PCB電路板上需要有測試點的原因
- 盤點晶體諧振器振蕩頻率溫度特性異常的幾個原因
