【導(dǎo)讀】支撐材料:成果頻出 項(xiàng)目加碼
    在我國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)快速增長(zhǎng)的帶動(dòng)下，近幾年來(lái)我國(guó)半導(dǎo)體支撐材料產(chǎn)業(yè)有了相當(dāng)?shù)陌l(fā)展，取得了明顯的進(jìn)步。在IC CHINA 2006期間，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體支撐材料主要企業(yè)集中展示了其最新成果，并發(fā)布了其最新動(dòng)態(tài)和策略。
 
　 有研硅股：建成12英寸硅單晶拋光片中試線

　 進(jìn)入21世紀(jì)以來(lái)，國(guó)際集成電路制造技術(shù)進(jìn)入了新一輪的快速發(fā)展時(shí)期，0.13-0.10微米直徑12英寸集成電路技術(shù)開(kāi)始進(jìn)入市場(chǎng)，對(duì)直徑12英寸硅片的需求也由技術(shù)研發(fā)轉(zhuǎn)變?yōu)楝F(xiàn)實(shí)的市場(chǎng)需求。為適應(yīng)國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，有研硅股在科技部和北京市政府的共同支持下，攻克了大直徑硅單晶生長(zhǎng)、大直徑硅片加工、分析檢測(cè)等一系列技術(shù)難關(guān)，開(kāi)發(fā)成功全套生產(chǎn)工藝，申請(qǐng)專利22項(xiàng)，并建成了我國(guó)第一條月產(chǎn)1萬(wàn)片、直徑12英寸硅單晶拋光片中試生產(chǎn)線。

　 公司技術(shù)人員在“863”計(jì)劃戰(zhàn)略性、前沿性、前瞻性定位要求下，在不到5年的時(shí)間里，走了從大直徑單晶生長(zhǎng)到拋光片成品的近30道關(guān)鍵工序的技術(shù)方案設(shè)計(jì)、設(shè)備選型、工藝研究的全過(guò)程；跨越了從關(guān)鍵技術(shù)研究向連續(xù)化生產(chǎn)的中試生產(chǎn)線導(dǎo)入的轉(zhuǎn)變；經(jīng)歷了從研究開(kāi)發(fā)樣品到批量生產(chǎn)產(chǎn)品的客戶檢測(cè)和供貨評(píng)估的艱難歷程，實(shí)現(xiàn)了我國(guó)直徑12英寸硅單晶拋光片生產(chǎn)零的突破。
　 科華微電子材料：即將建設(shè)百噸級(jí)正膠生產(chǎn)線

　 北京科華微電子材料有限公司是2004年8月注冊(cè)成立的中美合資企業(yè)，主要從事超大規(guī)模集成電路、分立器件和液晶顯示器件制作用光刻膠及配套試劑的生產(chǎn)與研發(fā)，是目前國(guó)內(nèi)同時(shí)集光刻膠研發(fā)與生產(chǎn)、銷售于一身的專業(yè)性高新技術(shù)企業(yè)。公司擁有國(guó)內(nèi)外知名的具有多年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗(yàn)的專家隊(duì)伍、高素質(zhì)的管理團(tuán)隊(duì)和具有國(guó)際先進(jìn)水平的分析和應(yīng)用測(cè)試設(shè)備。公司擁有已建成投產(chǎn)的北京燕山生產(chǎn)基地、位于美國(guó)波士頓的光刻膠研發(fā)實(shí)驗(yàn)室及正在建設(shè)中的北京天竺光刻膠及配套試劑的生產(chǎn)基地。公司即將在北京天竺出口加工區(qū)建設(shè)百噸級(jí)正膠生產(chǎn)線。

　 華誼微電子材料：建成15000噸級(jí)電子化學(xué)品項(xiàng)目 

　 上海華誼集團(tuán)公司在“十五”期間成功承擔(dān)了國(guó)家“863”超大規(guī)模集成電路配套材料重大專項(xiàng)中超純?cè)噭┕に囇芯块_(kāi)發(fā)任務(wù)。在產(chǎn)業(yè)化建設(shè)進(jìn)程中與臺(tái)灣聯(lián)仕電子化學(xué)材料股份有限公司以各50%股份合資成立了上海華誼微電子材料有限公司(華誼微電子)。公司集化學(xué)品提純、高純高凈分析檢測(cè)、包裝、售后服務(wù)為一體。

　 經(jīng)過(guò)一年多的建設(shè)，華誼微電子年產(chǎn)15000噸的微電子化學(xué)品項(xiàng)目已建成，并于9月8日舉行開(kāi)業(yè)典禮。項(xiàng)目包括超大規(guī)模集成電路制造過(guò)程中需要的硫酸、過(guò)氧化氫、氨水、氟化銨、硝酸、鹽酸、醋酸、BOE等各主要品種，產(chǎn)品質(zhì)量達(dá)到國(guó)際SEMI C12標(biāo)準(zhǔn)，可以滿足12英寸芯片的制造工藝要求。項(xiàng)目的建設(shè)將改變我國(guó)國(guó)內(nèi)超大規(guī)模集成電路制造業(yè)超純高凈試劑化學(xué)品依靠進(jìn)口的局面。“十一五”期間，華誼微電子將在已建成的萬(wàn)噸級(jí)微電子化學(xué)品裝置基礎(chǔ)上，繼續(xù)提高產(chǎn)品質(zhì)量以滿足半導(dǎo)體制造業(yè)的需要，以更好地為客戶提供高品質(zhì)服務(wù)。

　 晶瑞化學(xué)：100ppt級(jí)雙氧水項(xiàng)目將投產(chǎn)

　　蘇州晶瑞化學(xué)有限公司是一家集開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、營(yíng)銷微電子用高純化學(xué)品的高新企業(yè)。產(chǎn)品包括氫氟酸、過(guò)氧化氫、異丙醇、氨水、硫酸、硝酸、鹽酸、氟化銨、無(wú)水乙醇、丙酮、混酸蝕刻液等。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于超大規(guī)模集成電路和TFT-LCD面板制造過(guò)程中的蝕刻與清洗。已投入使用的一期工程，建筑面積3200平方米，萬(wàn)級(jí)(局部百級(jí))凈化廠房400平方米。年產(chǎn)5000噸各類超高純化學(xué)試劑。2006年2月公司與比利時(shí)Solvay公司合資建立了蘇州蘇瑞電子材料有限公司(Interox-SEM Co.，Ltd)，專注于開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、營(yíng)銷超高純雙氧水，公司設(shè)計(jì)年產(chǎn)4000噸100ppt級(jí)雙氧水，產(chǎn)品規(guī)格可以滿足8-12英寸IC芯片生產(chǎn)工藝要求，預(yù)計(jì)將在2006年10月份全面投產(chǎn)。

　 光明化工研究設(shè)計(jì)院：組建電子氣體工程研究中心

　 隨著我國(guó)IC產(chǎn)業(yè)的高速發(fā)展，IC產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵支撐材料高純電子氣體的需求呈現(xiàn)大幅增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。電子氣體國(guó)產(chǎn)化已成為降低IC制造成本、增強(qiáng)國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力、實(shí)現(xiàn)我國(guó)IC產(chǎn)業(yè)健康發(fā)展的必然。光明化工研究設(shè)計(jì)院前身為化工部光明化工研究所，是以特種氣體(包括電子氣體)為主導(dǎo)方向的科研機(jī)構(gòu)。經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展，光明院已形成以特種氣體、微電子、光電子關(guān)鍵支撐材料——電子化學(xué)品為主導(dǎo)的多種專業(yè)并存的，集科研開(kāi)發(fā)、工程設(shè)計(jì)、生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)、技術(shù)服務(wù)、質(zhì)量檢驗(yàn)為一體的綜合性科研機(jī)構(gòu)?；瘜W(xué)工業(yè)(全國(guó))氣體質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心、全國(guó)特種氣體信息中心均設(shè)在光明院。

　 光明院已確定組建電子氣體工程研究中心，工程中心將以光明院為技術(shù)依托，以“科技成果產(chǎn)業(yè)化、運(yùn)行機(jī)制企業(yè)化、發(fā)展方向市場(chǎng)化”為核心，實(shí)現(xiàn)機(jī)制創(chuàng)新與技術(shù)創(chuàng)新相結(jié)合，建成高水平的電子氣體研究開(kāi)發(fā)、技術(shù)創(chuàng)新與產(chǎn)業(yè)化基地。