德國AIXTRON愛思強29日宣布，日本安曇野市的愛沃特株式會社（AIRWATER）告稱已成功安裝一套8x6英寸規(guī)格的全自動的愛思強AIXG5HT行星式反應(yīng)器，用于氮化鎵外延層的生長。

AIRWATER之所以選用愛思強MOCVD系統(tǒng)，是基于該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)優(yōu)越的材料均勻性，這是發(fā)揮AIRWATER在氮化鎵外延基材方面的優(yōu)勢的一個關(guān)鍵要素。在系統(tǒng)安裝完成后，該公司已宣布今年內(nèi)推出在硅基材上生長的碳化硅基氮化鎵（GaN-on-SiC-on-Si），充分發(fā)揮該系統(tǒng)的卓越生產(chǎn)效率。為應(yīng)對日后的市場需求，AIRWATER也正考慮將該系統(tǒng)升級為愛思強AIXG5+系統(tǒng)，升級后的系統(tǒng)能夠處理5x200毫米（8英寸）規(guī)格的硅基材。與傳統(tǒng)的硅基材相比，增加的碳化硅層具有能在氮化鎵的初始成核過程保護硅基材的優(yōu)點。碳化硅本身的晶體結(jié)構(gòu)使得其被視為氮化鎵生長的理想模板。因此，硅基碳化硅基材能夠生長出大面積、晶體質(zhì)量卓越的氮化鎵層。在廣泛的高功率及LED應(yīng)用中，這一特性能帶來效率的提高和實現(xiàn)成本節(jié)約。

AIRWATER是一家日本領(lǐng)先的工業(yè)氣體制造商，作為半導(dǎo)體氣體業(yè)務(wù)的一部分，該公司已針對功率器件和LED應(yīng)用開發(fā)出在硅基上生長的碳化硅。在此方面，該公司已在8英寸規(guī)格大的硅基材上成功生產(chǎn)出高品質(zhì)3C-SiC(111)，同時也已宣布推出此類產(chǎn)品，以滿足就制造LED及電力電子應(yīng)用的電子器件所需的氮化鎵外延生長。