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[導讀]意法半導體(ST)推出新系列單軸和多軸MEMS(微機電系統(tǒng))陀螺儀。意法半導體的陀螺儀以經過市場驗證的微加工技術為支撐,利用硅的獨特機械特性,在半導體芯片內制造可以測量運動的特殊結構,提供優(yōu)異的角運動檢測性

意法半導體ST)推出新系列單軸和多軸MEMS(微機電系統(tǒng))陀螺儀。意法半導體的陀螺儀以經過市場驗證的微加工技術為支撐,利用硅的獨特機械特性,在半導體芯片內制造可以測量運動的特殊結構,提供優(yōu)異的角運動檢測性能和可靠性,目標應用包括人機界面、個人便攜導航儀、車載導航系統(tǒng)、數(shù)碼相機和攝像機的圖像穩(wěn)定功能。在備受市場青睞的人機界面中,陀螺儀可完善加速度傳感器的功能,使游戲機和遙控指向設備擁有更加令人興奮的用戶體驗,還可以提高車載導航系統(tǒng)的航位推測和/或地圖匹配性能,消除人手抖動對數(shù)字錄像或數(shù)碼相機拍照效果的影響,實現(xiàn)更加銳利的畫質。

意法半導體的全系列單軸(偏航)和雙軸(俯仰和滾轉,俯仰和偏航)MEMS陀螺儀提供業(yè)內最寬的量程范圍,從30dps 一直到6,000dps(度/每秒)。這款設計創(chuàng)新的傳感器的每個軸同時提供兩個不同的輸出:一個是未放大的數(shù)值,用于一般角運動檢測;另一個則是用于高分辨測量的4倍放大信號,以增強設計靈活性和用戶體驗。

意法半導體的全新陀螺儀在很寬的溫度和時間范圍內擁有卓越的穩(wěn)定性,零角速率電平的典型靈敏度小于 0.05dps/°C,因此在實際應用中無需再做溫度補償設計。由于影響輸出信號的噪聲級極低,可忽略不計(在全量程30dps時,0.014dps/sqrt(Hz)),所以測量精度得到保證。

新系列的高性能MEMS陀螺儀能夠承受機械應力,因為其強健的制程已成功地應用到已售出的數(shù)億支意法半導體的加速計中,工作電源電壓范圍2.7到3.6V。5x5mm 的LGA封裝以及創(chuàng)新的設計方法,確保在空間受限的應用中實現(xiàn)高集成度,性能和焊接穩(wěn)定性高于體積厚重的陶瓷封裝。 

全量程范圍30dps 一直到6,000dps的新系列MEMS陀螺儀(偏航,俯仰和滾轉,俯仰和偏航)的樣片現(xiàn)已上市,預計2009年第三季度開始量產。樣片包括 LPR503AL和LPY550AL。前者是一款俯仰和滾轉雙軸陀螺儀,全量程為30dps和120dps;后者是一款俯仰和偏航雙軸陀螺儀,全量程為500dps和2,000dps。

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